습한 환경에서도 안전을 유지하기 위한 금코팅된 적외선 램프의 사용
반도체 세척 작업을 할 때는 휘발성이 강하고 인화성이 높은 용매들을 다루게 됩니다. 이는 매우 위험한 환경입니다. 일반적인 적외선 램프를 그런 곳에 사용한다면, 마치 불이 날 가능성을 열어두는 것과 같습니다.
그래서 우리는 특별한 밀폐 구조를 갖춘 금코팅된 석영 램프를 사용합니다. 이를 통해 스파크가 화학물질에 닿는 것을 막고, 장비가 부식되는 것도 방지할 수 있습니다.
왜 금과 석영인가?
먼저 금 코팅에 대해서 말하자면, 이는 단순히 멋을 내기 위한 것이 아닙니다. 금은 거울처럼 작용하여 적외선 에너지를 웨이퍼 쪽으로 집중시킵니다.
가장 좋은 점은, 열이 장비 내부로 다시 반사되는 것을 막아 전기 연결부가 손상되는 것을 방지한다는 것입니다.
다음으로 석영에 대해서 말하자면, 석영은 충격에 강하기 때문에 사용됩니다. 전원을 자주 켜고 끄더라도 석영이 깨지지 않습니다. 하지만 석영은 다공성이 있어서 화학물질이 석영 표면을 통해 침투할 수 있습니다.
위험한 지역을 격리하기
스파크나 열이 인화성 가스에 닿지 않도록, 램프의 끝부분을 철저히 밀폐시킵니다. 전극이 위치하는 부분에는 고온에 견딜 수 있는 에폭시나 세라믹 실링을 사용합니다. 이는 마치 핫 필라멘트와 주변 공기 사이의 물리적 장벽과 같은 역할을 합니다.
우리는 이러한 램프를 완전히 밀폐된 형태로 만듭니다. 만약 밀폐가 실패한다면 할로겐 가스가 새어 나와 필라멘트가 즉시 파손됩니다. 듣기에는 나쁘게 들리지만, 사실 이것이 바로 목표입니다. 빠르게 파손되는 것이, 위험한 가스가 램프 내부로 스며드는 것보다 훨씬 안전합니다.
장단점
금코팅된 램프는 투명한 석영 램프보다 훨씬 강력하고 빠르게 작동합니다. 따라서 작업 속도가 빨라져 생산성이 향상됩니다.
하지만 그에는 대가가 따릅니다. 금은 값이 비싸고, 코팅도 섬세하기 때문에 설치할 때 조금이라도 손상되면 문제가 생깁니다. 또한, 기술자들은 반드시 장갑을 착용해야 합니다. 피부의 기름 성분이 석영 표면에 닿으면 고열로 인해 석영이 손상되어 램프가 망가질 수 있습니다. 화요일을 이런 식으로 보내는 것은 정말 좋지 않습니다.