सीएनटी हीटरों में वेफरों के संदूषण की समस्या को रोकना
यदि आपने सीएनटी निर्माण का काम किया है, तो आपको इस समस्या के बारे में पता ही होगा। जब उच्च लोड पर उत्पादन होता है, तो दबाव बढ़ जाता है… और फिर ऐसी समस्याएँ हो जाती हैं। एक ही इन्फ्रारेड लैंप खराब हो जाता है।
यह सिर्फ एक टूटा हुआ बल्ब नहीं है… यह तो एक विनाशकारी स्थिति है। अचानक ही, वेफरों पर क्वार्ट्ज के टुकड़े एवं हैलोजन गैस गिरने लगती है। ऐसी छोटी-सी त्रुटि भी पूरी उत्पादन प्रक्रिया को नष्ट कर सकती है… यह ऐसी समस्या है जिससे कोई भी बचना नहीं चाहेगा।
यही कारण है कि हमने अपने इन्फ्रारेड हीटरों को ऐसे ही डिज़ाइन किया… हम तो ऐसी त्रुटियों को शुरू होने से ही रोकना चाहते हैं।
“टुकड़ों” से निपटना
हम केवल पतली क्वार्ट्ज आवरण पर ही भरोसा नहीं करते… ऐसा करने से समस्याएँ ही बढ़ेंगी। इसके बजाय, हम चीजों को दूसरे सुरक्षात्मक कवरों में रखते हैं। इसे एक “सुरक्षा जाल” के रूप में ही सोचें… यदि लैंप थर्मल शॉक के कारण टूट जाता है, तो यह कवर उन टुकड़ों को रोक देता है… इससे वेफरों पर कोई टुकड़े नहीं गिरते… आपका उत्पादन क्षेत्र साफ ही रहता है।
ऊष्मा संबंधी समस्याएँ
जब अधिकतम वॉटेज पर उत्पादन होता है, तो फिलामेंट एवं क्वार्ट्ज के बीच का सील टूट जाता है… ऐसे में ही अधिकांश लैंप खराब हो जाते हैं। सील टूटने से ऑक्सीजन अंदर घुस जाती है… फिलामेंट टूट जाता है… और लैंप नष्ट हो जाता है।
इसे रोकने हेतु, हमने मजबूत एंड-कैप्स का उपयोग किया… इससे उस सील का तापमान स्थिर रहता है… इससे लैंप लंबे समय तक काम करता है… यह तो एक सरल समाधान है… लेकिन इससे बहुत समस्याओं से बचा जा सकता है।
ईमानदारी से कहें तो…
वास्तव में, सुरक्षात्मक कवर लगाने से थोड़ी मात्रा में इन्फ्रारेड ऊर्जा बाहर नहीं जा पाती… इससे वेफरों तक पहुँचने वाली ऊष्मा में 3-5% की कमी हो जाती है।
लेकिन यह तो एक छोटी सी कीमत है… इसके बदले में आपका उत्पादन नष्ट नहीं होगा… यह तो एक छोटी सी कीमत है जिसे चुकाना ही बेहतर है।
लैंपों को बदलना
हमने यह भी सुनिश्चित किया कि इन लैंपों को आसानी से ही बदला जा सके… जब कोई लैंप खराब हो जाता है, तो आप उसे आसानी से ही निकाल सकते हैं… आपको चैंबर में कोई छोटे टुकड़े छोड़ने की चिंता ही नहीं करनी पड़ेगी… बस नया लैंप लगा दें, सील जाँच लें… और आप फिर से उत्पादन शुरू कर सकते हैं… बस यह सुनिश्चित करें कि वेंटिलेशन ठीक से काम कर रहा है… ताकि बचे हुए गैसें बाहर निकल जाएँ… और आप तैयार हैं।