अपने क्लीनरूम उपकरणों के अतिताप होने से बचें
ज्यादातर लोग चीजों को गर्म करने हेतु कन्वेक्शन हीटरों का ही उपयोग करते हैं। लेकिन सेमीकंडक्टर उत्पादन में ऐसा करना समस्याओं का कारण बनता है। क्यों? क्योंकि गर्मी तो हर जगह फैल जाती है।
जब हवा गर्म हो जाती है, तो मशीन की आंतरिक दीवारें भी गर्म हो जाती हैं; इससे मशीन की सतहें छूने लायक नहीं रह जातीं। इसके अलावा, इससे क्लीनरूम का कुल तापमान भी प्रभावित हो जाता है। यह वाकई एक बड़ी समस्या है।
बेहतर तरीका
हमने पाया कि शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड (IR) लैंप ही इसका बेहतरीन समाधान हैं। इन्फ्रारेड तरंगें सीधी रेखा में ही चलती हैं। आप बस लैंप को वेफर/सब्सट्रेट की ओर घुमाइए… ऊर्जा सीधे वहीं पहुँच जाएगी। इससे आसपास की हवा एवं उपकरणों की दीवारें ठंडी ही रहेंगी… क्योंकि वे उस विशिष्ट तरंगदैर्घ्य को अवशोषित नहीं कर पातीं।
सही व्यवस्था
छोटे स्थान में भी अधिक ऊर्जा आवश्यक है… इसलिए हम आमतौर पर क्वार्ट्ज-हैलोजन ट्यूबों का ही उपयोग करते हैं। ये ट्यूबें जल्दी ही उच्च तापमान प्राप्त कर लेती हैं… इसलिए बड़े आकार के हीटिंग तत्वों की आवश्यकता ही नहीं पड़ती।
लेकिन ध्यान रखने योग्य बात यह है कि लैंप की दूरी को सही रखना आवश्यक है… अगर लैंप बहुत नजदीक होगा, तो वहाँ गर्मी बढ़ जाएगी… और अगर बहुत दूर होगा, तो “लेजर-फोकस” का लाभ ही नहीं मिलेगा। हम आमतौर पर कुछ रिफ्लेक्टरों का उपयोग करते हैं… ताकि ऊर्जा सीधे कार्यवस्तु पर ही रहे।
समस्याएँ
कुछ भी परफेक्ट नहीं है… ऐसे उच्च-घनत्व वाले लैंप बहुत अधिक ऊर्जा खींचते हैं… और उनका तापमान भी बहुत अधिक हो जाता है। बेशक, बाहरी केस ठंडा ही रहता है… लेकिन लैंप का आवरण तो बहुत गर्म हो जाता है। आपको यह सुनिश्चित करना होगा कि आपके कूलिंग फैन/वॉटर-जैकेट ठीक से काम कर रहे हैं… अगर कूलिंग प्रणाली ठीक से काम नहीं करेगी, तो लैंप जल्दी ही खराब हो जाएँगे।
और हे भगवान… मानक PVC वायरों का उपयोग बिल्कुल न करें… वे पिघल जाएँगे। PTFE या फाइबरग्लास से बने वायरों का ही उपयोग करें… ताकि गर्मी के कारण वायर पिघल न जाएँ।