Empêchez vos équipements de salle propre de surchauffer
La plupart des gens utilisent simplement des chauffages par convection pour réchauffer les choses. Mais dans un environnement de fabrication de semi-conducteurs, c’est une véritable source de problèmes. Pourquoi ? Parce que la chaleur a tendance à se répandre partout. Lorsque l’air est chauffé, tout devient chaud. Les parois intérieures de l’équipement deviennent alors dangereuses au toucher. De plus, cela perturbe la température globale de la salle propre. C’est vraiment un problème.
Une meilleure solution
Nous avons découvert que les lampes à rayonnement infrarouge à ondes courtes sont la solution idéale. Imaginez-le comme une lampe de poche plutôt qu’un chauffage classique. Le rayonnement infrarouge se déplace en ligne droite. Il suffit de diriger la lampe vers la puce ou le substrat : l’énergie atteint directement sa cible. L’air autour et les parois de l’équipement restent donc froids, car ils ne absorbent pas cette longueur d’onde.
Comment bien installer l’équipement
Il faut rassembler beaucoup d’énergie en un espace très restreint. C’est pourquoi nous utilisons généralement des tubes halogènes en quartz. Ils atteignent rapidement des températures élevées, ce qui évite l’utilisation d’éléments de chauffage encombrants. Mais il faut bien choisir la distance entre la lampe et l’objet à chauffer. Si la lampe est trop proche, des points chauds peuvent apparaitre, ce qui gâche le travail. Si elle est trop éloignée, on perd l’avantage du „focalisation laser“. Nous utilisons souvent des réflecteurs pour concentrer le faisceau lumineux. Cela permet à l’énergie de rester concentrée sur l’objet à traiter, sans se répandre dans le châssis de l’équipement.
Les inconvénients
Rien n’est parfait. Ces lampes à haute densité consomment beaucoup de courant et deviennent extrêmement chaudes. Bien sûr, le boîtier extérieur reste frais, mais le boîtier de la lampe subit beaucoup de stress thermique. Il est donc essentiel que vos ventilateurs de refroidissement ou vos systèmes de refroidissement par eau soient efficaces. Sinon, les lampes brûleront bien plus rapidement que prévu.
Et pour l’amour du ciel, ne utilisez pas de câbles en PVC standard. Ils vont fondre. Préférez des gaines en PTFE ou en fibre de verre, afin que vos câbles ne se transforment pas en flaques d’eau sous l’effet de la chaleur.