Pourquoi utilisons-nous des réflecteurs recouverts d’or dans les chauffages pour tables de travail en environnement de nettoyage par semi-conducteurs ?
Lorsque l’on travaille avec des chauffages pour tables de travail en environnement de nettoyage par semi-conducteurs, il n’y a qu’une seule chose qui compte : transmettre la chaleur au wafer. On ne veut pas gaspiller son énergie (ou son budget) à chauffer le châssis métallique de la machine. C’est là que l’or entre en jeu.
Les avantages du revêtement en or
Si l’on utilise des réflecteurs en aluminium standard, une grande quantité d’énergie est perdue : elle est simplement absorbée ou dispersée dans l’air. C’est un gaspillage. En ajoutant une couche d’or de haute pureté, nous pouvons atteindre une réflectivité supérieure à 98 % dans le spectre infrarouge. On peut donc considérer l’or comme un miroir pour la chaleur. Au lieu que le chauffage réchauffe toute la pièce, l’or renvoie ces photons directement vers le wafer. Le résultat ? Un profil thermique beaucoup plus précis, et on atteint rapidement les températures souhaitées. C’est efficace. Simplement.
Gérer la chaleur
Il y a cependant un problème : pour atteindre la bonne température du wafer, ces chauffages génèrent beaucoup de chaleur en un espace très restreint. Cela fonctionne bien pour le wafer, mais cela exerce une forte pression sur le châssis de la table de travail. Si on n’y fait pas attention, cette chaleur peut se propager dans le reste de la salle de nettoyage, ce qui perturbe les paramètres de travail. Assurez-vous que votre châssis dispose d’un système de ventilation adéquat ou d’un dissipateur de chaleur efficace. La chaleur doit être concentrée là où se trouve le wafer, et non partout ailleurs.
Comment les mettre en service et les conserver en bon état
Nous avons conçu ces réflecteurs pour être utilisés comme des remplacements directs, afin que vous n’ayez pas besoin de tout réparer pour pouvoir les utiliser. L’un des avantages majeurs de l’or est son inertie chimique : il ne rouille pas, ne s’oxyde pas, et ne se détache pas après quelques centaines de cycles de chauffage. Vous n’aurez donc pas affaire aux problèmes liés à l’efficacité qui surviennent généralement avec l’acier ou l’aluminium poli. Un petit conseil pour l’installation : vérifiez bien votre alimentation électrique. Si la tension varie, la puissance de chauffage varie également. Cela entraîne des zones inégales sur le wafer, ce qui est inacceptable. Gardez donc les circuits PID bien ajustés, et vous serez parfaitement satisfait.