متوقف کردن نشت انرژی در فرآیندهای نیمهحرارتی
بیایید صادق باشیم: فرهای سنتی مورد استفاده در اتاقهای تمیز، در واقع همان هیترهای بزرگی هستند که سعی میکنند کل اتاق را گرم کنند، تا بتوانند چند تکه ویفر را به دمای مناسب برسانند. در واقع، هوا، دیوارها، سقف… همه چیز گرم میشود، به جز آن بخش که واقعاً مهم است. این کار، هدررفت انرژی بسیار زیادی است.
به همین دلیل، ما به سمت استفاده از هیترهای مادون قرمز حرکت میکنیم. در این روش، به جای گرم کردن کل اتاق، مستقیماً روی ویفر یا سطح مورد نظر گرما اعمال میشود. این روش، روشی بهتر و کارآمدتر برای کار است.
جادوی گرمای هدفمند
مادون قرمز، در واقع نوعی تابش است. آن را میتوان مانند نور خورشید در روزهای سرد در نظر گرفت؛ هوا هنوز سرد است، اما شما بلافاصله گرما را احساس میکنید. چون نیازی نیست صبر کنیم تا کل فضای اتاق گرم شود، پس زمان لازم برای گرم شدن کامل اتاق از بین میرود. همه چیز سریعتر گرم میشود.
بسته به نوع موادی که با آنها کار میکنید، معمولاً از امیترهای موج کوتاه یا موج متوسط استفاده میشود. اگر از سطوح ضخیم استفاده میکنید، موج کوتاه مناسبتر است؛ زیرا گرما عمیقتر در ماده نفوذ میکند. برای فیلمهای نازک، موج متوسط باعث ایجاد گرمای ملایم و کنترلشده در سطح میشود.
در هر صورت، میزان انرژی مصرفی برای هر ویفر کمتر خواهد بود. فشار کربنی نیز کاهش مییابد، و هزینه انرژی نیز بهتر خواهد شد.
مقابله با مشکلات اتاقهای تمیز
همه ما میدانیم که در اتاقهای تمیز، حتی یک ذره گرد و غبار میتواند باعث خراب شدن کل محصولات شود. برای حفظ تمیزی، لامپها را در قالب کوارتز قرار میدهیم؛ این کار باعث جلوگیری از وجود ذرات گرد و غبار میشود. همچنین، از کنترلرهای PID با دقت بالا برای کنترل دما استفاده میکنیم، تا نیازی به نگرانی درباره خراب شدن قطعات نباشد.
اما یک نکته مهم وجود دارد: باید مراقب چگالی انرژی تولید شده توسط لامپها باشید. این لامپها گرمای زیادی تولید میکنند؛ اگر سیستم خنککننده مناسبی نداشته باشید، این گرما میتواند باعث تغییر شکل بدنه فر یا اختلال در کار سنسورها شود. این ابزار بسیار قدرتمندی است، بنابراین باید به گرمای تولید شده توجه کرد.
مزایای واقعی
بهترین بخش این روش این است که میتوانید فضای اتاق را پس بگیرید. میتوانید از فرهای بزرگ استفاده کنید، یا از فرهای مادون قرمز کوچکتر استفاده کنید. این روش، روشی بسیار خوب برای اداره یک کارخانه سبز است، بدون اینکه بخواهید کیفیت محصولات را فدا کنید.