
دریافت گرمای بیشتر در جاهایی که واقعاً مهم هستند
وقتی که در شرایط خلأ کار میکنید، در واقع در حال مبارزه با قوانین فیزیک هستید. نمیتوانید به حرکت هوا برای انتقال گرما تکیه کنید؛ چون فرآیند همرفت گرما اصلاً رخ نمیدهد. تنها راه، استفاده از تابش است؛ اما اینجاست که مشکلات پیش میآید.
هر وات انرژی که به ویفر نمیرسد، در واقع گرمای هدررفته است. این موضوع مشکلاتی را برای کولرها و پمپهای خلأ ایجاد میکند؛ زیرا آنها باید این گرماهای هدررفته را دور کنند. برای جلوگیری از این هدررفت، ما از منعکسکنندههای پوشیده شده با طلا در گرمکنهای مادون قرمز خود استفاده کردیم.
چرا طلا؟
اکثر مردم از آلومینیوم برای ساخت منعکسکنندهها استفاده میکنند؛ اما در واقع آلومینیوم اجازه میدهد که انرژی مادون قرمز زیادی از آن عبور کند. طلا متفاوت است؛ این فلز در پرتوبندیهای طولانی مادون قرمز، بازتاب بسیار خوبی دارد.
میتوان آن را مانند یک آینه با دقت بالا در نظر گرفت. در عوض اینکه لامپ گرما را به همه جهات پخش کند، طلا تمام این انرژی را مستقیماً به سمت ویفر هدایت میکند.
این روش باعث میشود که به سرعت به دمای مورد نظر برسیم، و نیازی نیست برای این کار توان بیشتری استفاده کنیم.
مشکلات خلأ
مشکل اینجاست که در شرایط خلأ، لامپ در واقع در یک «جزیره» قرار دارد؛ یعنی نمیتواند گرما را در هوا پخش کند. اگر انرژی زیادی را به یک ناحیه کوچک اعمال کنیم، فیلامنت لامپ خراب خواهد شد یا کوارتز آن ترک خواهد خورد. این وضعیت خوبی نیست.
ما این مشکل را با تغییر شکل منعکسکننده برطرف کردیم. موضوع فقط گرم کردن لامپ نیست؛ بلکه موضوع، انتقال کارآمدتر انرژی است. ما لامپ را خنک و سالم نگه میداریم، در حالی که ویفر از گرما بهرهمند میشود.
معایب
البته، طلا چیز جادویی نیست؛ قیمت آن بالاتر است، و هزینه مواد مورد نیاز نیز بیشتر خواهد بود.
علاوه بر این، طلا حساس است؛ اگر در محیط کار شما مشکلاتی وجود داشته باشد، ذرات موجود روی سطح طلا تجمع خواهند کرد. وقتی این لایه کدر شود، بازتاب نور کاهش مییابد و گرمایندگی نامتقارن خواهد شد.
اگر میخواهید این روش کار کند، باید در نگهداری محیط کار خود دقت کنید؛ سطح طلا را تمیز نگه دارید، تا فرآیند کار شما سریع پیش برود.