
چرا از بازتابندههای پوشیده شده با طلا در هیترهای ترولی استفاده میکنیم؟
وقتی که با هیترهای مورد استفاده در اتاقهای تمیز نیمههادی سروکار داریم، تنها چیزی که اهمیت دارد، انتقال گرما به ویفر است. شما نمیخواهید انرژی خود را صرف گرم کردن بدنه فلزی دستگاه کنید.
اینجاست که نقش طلا مشخص میشود.
مزایای استفاده از لایه طلا
اگر از بازتابندههای استاندارد آلومینیومی استفاده کنید، مقدار زیادی انرژی از بین میرود؛ این انرژی یا جذب میشود یا در هوا پراکنده میگردد. این کار بسیار هدردار است.
با اضافه کردن لایه طلا با خلوص بالا، میتوانیم میزان بازتاب نور در طیف مادون قرمز را بالاتر از ۹۸٪ ببریم. میتوان آن را مانند یک آینه برای انتقال گرما در نظر گرفت. در نتیجه، هیتر تنها ویفر را گرم میکند، نه کل اتاق.
نتیجه؟ دستیابی به دمای مورد نظر در زمان کوتاهتری. این روش بسیار کارآمد است.
مشکلات مربوط به گرما
مشکل اینجاست که برای رساندن ویفر به دمای مناسب، این هیترها مقدار زیادی انرژی را در فضای کوچکی تولید میکنند. این روش برای گرم کردن ویفر عالی است، اما فشار زیادی بر روی بدنه ترولی وارد میکند. اگر مراقب نباشید، این گرما میتواند به سایر بخشهای اتاق تمیز سرایت کند و باعث اختلال در دمای ویفر شود.
مطمئن شوید که بدنه دستگاه دارای سیستم تهویه مناسبی باشد؛ گرما باید در همان جایی که ویفر قرار دارد، تولید شود، نه در جاهای دیگر.
نحوه استفاده از این بازتابندهها
ما این بازتابندهها را به گونهای طراحی کردهایم که بتوانید آنها را به جای بازتابندههای قدیمی استفاده کنید، بدون اینکه نیاز به بازسازی کل سیستم باشد.
یکی از مزایای بزرگ طلا این است که از نظر شیمیایی بیاثر است؛ طلا زنگ نمیزند، اکسید نمیشود، و پس از چند صد دور گرمایشی، پوسته نمیشود. شما دیگر مجبور نیستید با مشکلات مربوط به کاهش کارایی دستگاه مقابله کنید.
یک نکته مهم برای راهاندازی دستگاه: حتماً ولتاژ تغذیه را بررسی کنید؛ اگر ولتاژ تغییر کند، تولید گرما نیز تغییر خواهد کرد. این امر باعث ایجاد ناهمواریهایی در دمای ویفر میشود. مطمئن شوید که سیستم کنترل دما به خوبی کار کند، تا بتوانید از عملکرد خوب دستگاه لذت ببرید.