Wie man die MEMS-Wafern trocknet – ohne Probleme
Beim Herstellen von MEMS-Sensoren möchte man auf keinen Fall, dass ein Tropfen Feuchtigkeit oder ein Schmutzfleck auf der Waferoberfläche zu Schäden führt. Doch man kann die Wafer nicht einfach mit Hitze behandeln – dadurch würde das Material belastet werden und es entstünden unerwünschte Rückstände.
Deshalb verwenden wir Kurzwellen-Infrarotheizgeräte. Anstatt die Luft um die Wafer zu erhitzen, leiten diese Geräte die Energie direkt in das Substrat. Es handelt sich dabei um einen direkten Prozess – ohne chemische Katalysatoren und ohne Komplikationen.
Wie es funktioniert Stellen Sie es sich wie einen gezielten Angriff vor: Das Heizgerät sendet Photonen aus, die von den Wassermolekülen aufgenommen werden. Dadurch verdampft das Wasser fast sofort.
Das Beste daran: Es gibt keinen Luftstrom. Wer schon einmal in einem Reinraum war, weiß, dass Luftströmungen im Grunde genommen eine Quelle für Staub und Partikel sind. Infrarot-Heizung ist somit ein „trockener“ Prozess – man braucht keine gefährlichen Flussmittel oder bleihaltige Lötstoffe, um Wärme zu erzeugen. Es funktioniert einfach.
Energieeinsparung – und weniger Stress Das ist wirklich toll: Man muss nicht mehr stundenlang warten, bis die Heizkammern vorgeheizt sind. Mit Infrarotlampen erreicht man die gewünschte Temperatur in Sekundenschnelle. Das spart enorm viel Energie – im Vergleich zu den alten Heizmethoden ist die Energieverbrauch pro Wafer deutlich geringer. Zudem entstehen keine schädlichen VOC-Emissionen wie bei chemischen Trocknungsverfahren. Es handelt sich also um eine sauberere Arbeitsmethode.
Die Nachteile Es ist zwar keine Magie – es gibt aber auch Einschränkungen. Infrarotstrahlen benötigen eine Sichtlinie. Wenn der Träger der Wafer eine unregelmäßige Form hat oder tiefe Vertiefungen aufweist, entstehen „Kältepunkte“, an denen die Wärme nicht ankommt.
Man muss also sorgfältig planen, wo die Lampen platziert werden. Wenn man versucht, die Kältepunkte durch höhere Leistung zu beheben, können die Ränder der Wafer beschädigt werden. Es braucht etwas Planung, um alles richtig einzustellen.
Wir haben diese Systeme so konzipiert, dass sie einfach an die Stelle passen, an der früher die energieintensiven Geräte standen. Achten Sie darauf, dass Ihre Stromversorgung mit dem initialen Strombedarf der Lampen zurechtkommt. Sobald die Lampen laufen, ist alles in Ordnung.