Verhindern Sie, dass Glasstücke Ihre Wafer zerstören
In einer Fabrik zur Herstellung von Halbleitern bedeutet das Platzen einer Lampe nicht nur Ärger oder einen kleinen Stillstand – es ist eher ein Albtraum. Wenn eine Infrarotlampe versagt, fallen Quarzstücke sowie Halogengas direkt auf die Wafer. Ein einziger Ausfall bedeutet, dass die gesamte Charge unbrauchbar wird. Wir haben viel Zeit damit verbracht, nach Möglichkeiten zu suchen, dies zu verhindern – indem wir uns auf die verwendeten Materialien sowie auf die Art und Weise konzentrierten, wie die Lampen zusammengehalten werden.
Die Materialien, die wir verwenden
Wir verwenden hochreinen synthetischen Quarz für die Hülle der Lampen. Warum? Weil dieser Stoff den schnellen Temperaturwechsel aushalten kann, ohne zu Rissen zu kommen. Doch damit hört es nicht auf. Wir fügen außerdem eine schützende Hülle oder eine dünne Schicht hinzu. Das kann man sich wie ein Sicherheitsnetz vorstellen. Wenn die Glühfäden durchbrennen und die Lampe versagt, hält diese Schutzschicht die Glasstücke an ihrem Platz – sie fallen also nicht auf die Wafer.
Das Problem mit der Hitze
Um die Wafer schnell auf die gewünschte Temperatur zu bringen, benötigt man eine hohe Leistung. Doch dabei entstehen „heiße Punkte“. Wir gleichen die Spannung und Leistung so aus, dass die Wärme gleichmäßig im ganzen Lampenkörper verteilt wird. Nur eine Warnung: Wenn man die Lampen mit voller Leistung betreibt, muss das Kühlsystem perfekt funktionieren. Wenn die Gehäuse zu heiß werden, können die Dichtungen an den Elektroden beschädigt werden – und dann platzt die Lampe früher als erwartet.
Die richtigen Verbindungen
Außerdem ist auch die Verkabelung wichtig. Wir verwenden präzise passende Steckverbinder – denn elektrische Entladungen können ebenfalls Schäden verursachen. Durch präzise Anpassungen und vibrationsfesten Anschlüssen wird der mechanische Druck auf die Enden der Lampen verringert. So erhalten Sie eine Heizquelle, der man wirklich trauen kann. Natürlich muss man weiterhin darauf achten, das Kühlsystem ordnungsgemäß zu warten – doch damit werden die gefährlichsten Fehlerquellen beseitigt.