Beende den Energieverlust in halbthermischen Prozessen
Seien wir ehrlich: Die alten Reinraumöfen sind im Grunde genommen riesige Heizgeräte, die versuchen, die gesamte Umgebung aufzuwärmen – nur damit ein paar Wafern die richtige Temperatur erreichen. Dabei wird die Luft, die Wände, die Decke – einfach alles außer dem Bereich, der wirklich wichtig ist – erhitzt. Das ist eine enorme Verschwendung von Energie.
Deshalb wandern wir hin zu Infrarotheizung. Anstatt den ganzen Raum zu heizen, wird direkt auf die Wafer oder Substrate eingewirkt. Das ist eine effizientere und intelligente Lösung.
Die Kraft der gezielten Wärme
Infrarotheizung basiert auf Strahlung. Stellen Sie sich vor, die Sonne berührt Ihre Haut an einem kalten Tag – die Luft bleibt zwar kalt, aber Sie spüren sofort die Wärme. Da wir nicht darauf warten müssen, dass eine ganze Raumluftmasse aufgewärmt wird, entfällt die Verzögerung. Alles wird schneller warm.
Je nachdem, mit was man arbeitet, verwendet man entweder Kurzwellen- oder Mittelwellenemitter. Bei dicken Substraten sind Kurzwellen besser geeignet, da sie tiefer in das Material eindringen können. Bei dünnen Schichten sorgen Mittelwellen für eine sanfte, kontrollierte Erwärmung der Oberfläche.
In jedem Fall werden pro Wafer weniger kWh verbraucht. Dadurch sinkt der CO2-Fußabdruck und die Energiekosten bleiben niedrig.
Probleme im Reinraum bewältigen
Wir kennen alle die Probleme im Reinraum: Ein einziger Staubkorn kann dazu führen, dass die gesamte Produktion zerstört wird. Um dies zu verhindern, umhüllen wir die Lampen mit Quarz. So gibt es keine Ablagerungen, keine Kontaminationen. Wir kombinieren diese Lampen außerdem mit hochpräzisen PID-Reglern, damit man sich keine Sorgen um beschädigte Komponenten machen muss.
Aber Achtung: Achten Sie auf die Leistungsdichte dieser Infrarotlampen. Sie erzeugen viel Wärme. Wenn die Kühlung nicht ausreicht, kann die Strahlung vom Substrat reflektiert werden und dadurch das Gehäuse des Ofens oder Sensoren beschädigen. Es handelt sich dabei um eine leistungsstarke Technologie – daher muss man die entstehende Wärme berücksichtigen.
Die Vorteile in der Praxis
Der größte Vorteil? Man gewinnt wieder Platz. Man kann den riesigen Konvektionsofen durch einen kompakten Infrarottunnel ersetzen. Das ist eine Win-Win-Lösung: Man spart Platz, und das Lüftungssystem muss nicht übermäßig arbeiten, um einen Raum abzukühlen, der von einem großen Ofen beheizt wird. Es ist der einfachste Weg, eine „grüne Fabrik“ zu betreiben, ohne dabei die Produktivität zu beeinträchtigen.