Mehr Wärme genau dorthin, wo sie gebraucht wird
Wenn man in Vakuum arbeitet, kämpft man gegen die Gesetze der Physik. Man kann sich nicht auf die Konvektion verlassen – schließlich findet keine Wärmeübertragung statt. Übrig bleibt nur die Strahlung – und da wird es kompliziert.
Jeder Watt Energie, der nicht auf die Wafer trifft, ist nutzlose Wärme. Das ist ein Problem, das die Kühlsysteme und Vakuumpumpen bewältigen müssen. Um diese Verschwendung zu verhindern, haben wir in unsere Infrarotheizer goldbeschichtete Reflektoren eingebaut.
Warum Gold?
Die meisten Menschen beginnen mit Aluminium – doch tatsächlich lässt Aluminium zu viel Infrarotenergie durch. Gold hingegen ist äußerst reflektierend, was langwelliges Infrarot angeht. Man kann es wie einen Hochpräzisionsspiegel betrachten. Anstatt dass die Lampe die Wärme in alle Richtungen abstrahlt, lenkt das Gold all diese Energie direkt auf die Wafer. Dadurch wird die Zieltemperatur schneller erreicht – und es ist nicht nötig, die Leistung zu erhöhen.
Das Problem im Vakuum
Im Vakuum befindet sich die Lampenröhre im Grunde genommen auf einer „Insel“. Sie kann keine Wärme abgeben. Wenn man einfach hohe Leistungen auf eine kleine Fläche richtet, kann das zum Schaden der Filamente oder des Quarzes führen. Das ist sicherlich kein guter Tag für die Arbeit.
Die Lösung
Wir haben die Geometrie des Reflektors angepasst. Es geht dabei nicht darum, die Lampe einfach heißer zu machen – das wäre katastrophal. Es geht vielmehr darum, die Energie effizienter zu nutzen. So bleibt die Lampe kühl und sicher, während die Wafer die Wärme spürt.
Die Herausforderungen
Gold ist zwar eine hervorragende Lösung – aber es ist auch teuer. Zudem ist Gold empfindlich. Wenn es in der Kammer Gase oder Ablagerungen gibt, setzen sich diese Partikel auf der Goldoberfläche ab. Sobald die Beschichtung trüb wird, nimmt die Reflexion ab – und die Heizung wird ungleichmäßig.
Fazit
Um dieses System zu nutzen, muss man diszipliniert vorgehen und die Kammer stets sauber halten. Wenn das Gold sauber bleibt, funktioniert das System einwandfrei.