Verhindern Sie Schäden: Halten Sie Ihre Wafer sauber, wenn die Lampen versagen
In einer Produktionsanlage mit hohem Durchsatz ist das Versagen einer Lampe kein einfacher Ärger oder nur ein kurzer Stillstand – es handelt sich dabei um einen Albtraum. Wenn eine Quarzröhre platzt, kommen Glassplitter sowie Halogengas auf die Wafer. Ein solcher Vorfall bedeutet, dass die gesamte Charge unbrauchbar wird.
Wir haben unsere Infrarotlampen mit Goldreflektoren speziell so konstruiert, dass ein solcher Schaden verhindert wird.
Warum Gold wichtig ist
Wir besprühen die Reflektoren mit hochreinem Gold – schließlich kann Gold das Infrarotspektrum viel besser handhaben als Aluminium. Dadurch wird die Wärme genau dorthin geleitet, wo sie benötigt wird – nämlich auf die Wafer. Dadurch muss der Lampenkörper nicht so viel Wärme aufnehmen.
Der Vorteil: Die Röhre bleibt kühler. Wenn die Betriebstemperatur sinkt, sinkt auch der Innendruck. Ein niedrigerer Druck bedeutet eine viel geringere Wahrscheinlichkeit dafür, dass die Röhre platzt.
Für intensive Produktionsbedingungen geeignet
Wenn Sie intensive Produktionszyklen durchführen, benötigen Sie Geräte, die solchen Belastungen standhalten können. Wir verwenden Quarzrohre mit dicken Wänden – diese funktionieren auch bei schnellen Temperaturschwankungen einwandfrei.
Außerdem haben wir untersucht, an welchen Stellen die Rohre am häufigsten beschädigt werden. Meistens sind es die Anschlussstellen. Wir wählen daher solche Terminals aus, die einen Stromschlag verhindern – schließlich ist dieser Stromschlag oft der Auslöser für einen Defekt.
Und falls doch etwas passiert? Wir haben ein Abschirmungssystem eingebaut. Falls eine Röhre doch platzt, bleiben die Splitter im Inneren der Röhre gefangen – sie treffen nicht auf die Wafer. So entsteht kein katastrophaler Schaden.
Die Nachteile – und wie man damit umgeht
Nichts ist perfekt. Die Heizung mit Infrarotstrahlen erfordert immer ein Gleichgewicht zwischen verschiedenen Faktoren.
Die Goldreflektoren sind zwar großartig, aber sie sind empfindlich, was die Reinigung angeht. Wenn das Personal aggressive Lösungsmittel oder starke Chemikalien verwendet, wird die Beschichtung sofort zerstört. Dadurch verschlechtert sich das Heizprofil der Lampe.
Sagen Sie Ihrem Wartungsteam, dass sie nur nicht-abrasive Reinigungsmittel verwenden sollen. Halten Sie es einfach. Wenn die Reflektoren schmutzig werden, muss die Röhre härter arbeiten und wird heißer – dadurch verkürzt sich die Lebensdauer der Lampe. Halten Sie die Reflektoren sauber, dann funktionieren sie weiterhin einwandfrei.