Sicheren Schutz durch goldbeschichtete Infrarotlampen in feuchten Prozessen
Wenn man mit Chemikalien zur Reinigung von Halbleitern arbeitet, hat man es im Grunde mit flüchtigen, brennbaren Lösungsmitteln zu tun. Es handelt sich dabei um eine hochriskante Umgebung. Wenn man einfach eine herkömmliche Infrarotlampe verwendet, lädt man praktisch dazu ein, dass es zu einem Brand kommt.
Deshalb verwenden wir goldbeschichtete Quarzlampen mit einer speziellen Abdichtung. Dadurch werden Funken von den Chemikalien ferngehalten und Korrosion verhindert.
Warum Gold und Quarz?
Zunächst einmal ist da die Goldschicht. Es geht dabei nicht darum, chic auszusehen – das Gold fungiert vielmehr wie ein Spiegel, der die Infrarotenergie direkt auf den Wafer leitet.
Das Beste daran: Die Hitze wird so davon abgehalten, in das Gehäuse zurückzuschlagen und die elektrischen Anschlüsse zu beschädigen.
Der Quarz hingegen ist besonders widerstandsfähig. Man kann ihn immer wieder ein- und ausschalten, ohne dass das Glas unter dem Druck zerbricht. Doch Quarz ist porös – Dämpfe können somit in das Gerät eindringen.
Sicherung gefährlicher Bereiche
Um sicherzustellen, dass keine Funken oder Hitze auf die brennbaren Dämpfe gelangen, verschließen wir die Enden der Lampen fest. Wir verwenden hochtemperaturbeständige Epoxid- oder Keramikdichtungen an den Elektroden. Man kann das als eine Art physische Barriere zwischen dem glühenden Filament und der Umgebungsluft betrachten.
Wir stellen diese Lampen so her, dass sie völlig luftdicht sind. Falls eine Dichtung versagt, entweicht das Halogengas und das Filament geht sofort kaputt. Das klingt schlecht – doch eigentlich ist das genau das Ziel. Ein schnelles Versagen ist besser als ein langsamer Austausch von Gasen im Inneren der Lampe.
Kompromisse
Goldbeschichtete Lampen sind zwar leistungsfähiger als normale Quarzlampen, doch das hat auch seine Nachteile. Gold ist teuer, und die Beschichtung ist empfindlich. Schon eine kleine Beschädigung während der Installation kann dazu führen, dass es zu ungleichmäßiger Erwärmung kommt.
Außerdem sollten die Techniker immer Handschuhe tragen. Hautöle sind hier ein echtes Problem – wenn sie mit dem Quarz in Berührung kommen, brennen diese Öle bei hoher Leistung in das Glas ein, wodurch die ganze Lampe kaputt geht. Das ist sicherlich keine angenehme Erfahrung.