Warum Infrarotstrahlung besser ist als heiße Luft zum Trocknen von Halbleitern
Falls Sie immer noch auf die Verwendung von Heißluft in Ihren Reinigungsprozessen setzen, kämpfen Sie im Grunde gegen die Zeit. Denken Sie daran, wie die Konvektion funktioniert: Zuerst muss die ganze Luft sowie die Wände der Kammer erhitzt werden, bevor der Wafer überhaupt eine Temperaturänderung bemerkt. Das ist sehr langsam. Jedes Mal, wenn Sie die Temperatur erhöhen oder senken, entsteht eine Verzögerung – und in einer Fabrik mit hohem Durchsatz summieren sich diese Sekunden zu viel verschwendeter Zeit.
Vermeiden Sie unnötige Zwischenschritte.
Deshalb kommt die Infrarotstrahlung ins Spiel. Anstatt die Luft zu erhitzen, senden die Infrarotlampen elektromagnetische Strahlung direkt auf das Substrat. Es muss nicht gewartet werden, bis die Luft warm wird – es gibt keine Verzögerungen. Wir verwenden wasserdichte Lampen, damit Dampf und Feuchtigkeit aus dem Reinigungsprozess die Elektronik nicht beschädigen. Da die Energieübertragung direkt stattfindet, verkürzt sich die Heizzeit von Minuten auf Sekunden. Dadurch steigt die Durchsatzrate – die Wafer müssen nicht mehr einfach nur dort liegen und trocknen.
Die Wärme genau dorthin leiten, wo sie benötigt wird.
Wir verwenden spezielle Dichtungen und Beschichtungen, um während des Übergangs vom Reinigen zum Trocknen Wasser fernzuhalten. Mit einem hochdichten Infrarotfeld können Sie die Wärme genau dorthin lenken, wo sich die Flüssigkeit befindet. So entstehen keine „kalten Stellen“, wie sie bei herkömmlichen Luftsystemen auftreten.
Aber man muss vorsichtig sein: Infrarotstrahlung ist intensiv. Wenn die Geschwindigkeit des Transportsystems nicht richtig eingestellt ist oder die Lampen zu nah beieinander stehen, besteht die Gefahr, dass ein kleiner Bereich überhitzt wird und die dünnen Wafer verformt werden. Man muss etwas Zeit investieren, um die Entfernung und die Leistung der Lampen richtig einzustellen. Doch einmal eingestellt, ist alles perfekt.
Platz sparen.
Das Beste daran: Man kann auf die riesigen Gebläse und komplizierte Leitungen verzichten. Durch den Ersatz eines konventionellen Ofens durch ein Infrarotsystem wird die Fläche, die für die Ausrüstung benötigt wird, deutlich reduziert. Man muss lediglich die Lampen anschließen, die Timer einstellen und sie in die vorhandene Anlage integrieren. Auch die Ingenieure werden das sicherlich schätzen – kein mehr mit der Wartung der Lüfter oder dem Wechseln der Filter beschäftigt zu sein. Dadurch wird der gesamte Prozess effizienter.