Zastavení úniku energie v polo-termálních procesech
Buďme upřímní: staromódní pece v čistých prostorách jsou v podstatě obrovské ohřívače, které se snaží nahřát celou místnost jen proto, aby pár waferů dosáhlo správné teploty. Nahříváte vzduch, stěny, strop – všechno kromě té části, která je opravdu důležitá. Je to obrovská ztráta energie.
Proto se přesouváme k infračervenému ohřevu. Místo ohřevu celé místnosti ohříváte přímo wafer nebo substrát. Je to efektivnější a inteligentnější způsob práce.
Kouzlo cíleného ohřevu
Infračervené záření funguje na principu záření. Představte si to jako slunce, které na chladný den zahřívá vaši kůži – vzduch je stále ledový, ale vy okamžitě cítíte teplo. Protože nemusíme čekat, až se nahřeje celá místnost, zmizí i doba otálení. Všechno se urychluje.
V závislosti na tom, s čím pracujete, používáme obvykle vysokofrekvenční nebo středofrekvenční emitory. Pokud máte tlusté substráty, vysokofrekvenční emitory jsou vhodné, protože pronikají hlouběji do materiálu. U tenkých vrstev poskytují středofrekvenční emitory jemné a kontrolované zahřívání povrchu.
V každém případě spotřebujete méně energie na jeden wafer. Vaše uhlíková stopa se zmenšuje a účet za energii vypadá mnohem lépe.
Řešení problémů v čistých prostorách
Všichni známe situaci v čistých prostorách: jediný prachový částic a celá série produktů je znehodnocena. Abychom udrželi vše čisté, obalujeme lampy do křemene. Žádné odchlupování, žádné kontaminanty. K tomu používáme vysoce přesné regulátory PID, abyste se nemuseli obávat poškození komponentů.
Ale pozor: sledujte hustotu tepla. Tyto infračervené systémy vydávají opravdu velké množství tepla. Pokud váš chladicí systém není dostatečně silný, toto teple se může odrazit od substrátu a poškodit konstrukci pece nebo senzory. Je to mocný nástroj, takže musíte respektovat jeho sílu.
Reálné výhody
Nejlepší na tom je, že získáte zpět prostor. Můžete se zbavit těch obrovských konvekčních pecí a nahradit je kompaktními infračervenými tunely.
Je to výhra pro všechny – ušetříte prostor a vaše HVAC systémy nemusí pracovat nad rámec svých možností při chlazení místnosti, která je zahřívána obrovskou pecí. Je to nejjednodušší způsob, jak provozovat „zelenou továrnu“, aniž byste obětovali výkon.