Proč používáme zlatě pokryté reflektory v topných zařízeních pro čistické místnosti
Když pracujete s topnými zařízeními pro čistické místnosti s polovodiči, zajímá vás opravdu jen jedna věc: dostat teplo na wafer. Nechcete plýtvat energií (ani rozpočtem) na zahřívání kovové konstrukce stroje. A tu přichází na řadu zlato.
Výhody zlatého povlaku
Pokud použijete standardní hliníkové reflektory, ztrácíte spoustu energie. Ta se prostě pohlcuje nebo rozptýlí do vzduchu. Je to plýtvání. Přidáním vrstvy vysokocistého zlata můžeme dosáhnout odrazivosti nad 98 % v infračerveném spektru. Představte si to jako zrcadlo pro teplo. Místo toho, aby topidlo zahřívalo celou místnost, zlato odráží tyto fotony přímo zpět na wafer. Výsledkem je mnohem lepší rozložení tepla a rychlejší dosažení požadovaných teplot. Je to efektivní. Jednoduché.
Jak se vypořádat s teplem
Je tu však jeden problém. Aby se wafer dostal na správnou teplotu, tato topidla vyvinou velké množství tepla v malém prostoru. To funguje skvěle pro wafer, ale způsobuje velké zatížení konstrukce vozíku. Pokud nebudete opatrní, toto teplo se může rozšířit do celé čistické místnosti a narušit vaše parametry. Ujistěte se, že vaše konstrukce má správnou ventilaci nebo pevný chladič. Chcete, aby teplo bylo tam, kde je wafer, a ne všude jinde.
Jak je nasadit (a udržet je v pořádku)
Tyto reflektory jsme vytvořili jako náhrady, takže nemusíte přestavovat celý systém, abyste je mohli použít. Jednou z největších výhod zlata je to, že je chemicky inertní. Nerostou mu rez, neoxiduje se a po několika stovkách cyklů zahřívání se neodlupuje. Nemusíte se potýkat s tím nepříjemným poklesem efektivity, který obvykle nastává u leštěné oceli nebo hliníku. Jen rychlá rada ohledně instalace: důkladně zkontrolujte napájecí zdroj. Pokud se napětí mění, mění se i výkon topidla. To vede k nerovnoměrnému rozložení tepla na waferu, a to nikdo nechce. Udržujte parametry PID v pořádku a budete v dobré situaci.