如何让MEMS晶圆保持干燥，而无需担心各种问题？
在制造MEMS传感器时，最不希望看到的就是有水滴或溶剂残留物损坏晶圆。不过，也不能直接用高温来处理晶圆——那样会导致材料受损，还会留下各种残留物。
因此，我们选择使用短波红外线加热器。与传统的加热方式不同，红外线可以直接将能量传递到晶圆上，无需浪费时间去加热周围的空气。这种方式既高效又简单，不需要任何化学催化剂或复杂流程。
其工作原理
可以将其视为“精准打击”。加热器发出的光子被水分子吸收，从而使液体迅速蒸发。最棒的是，这种加热方式不会产生气流，而气流往往会导致灰尘和颗粒物的产生。红外线加热是一种“无尘”加热方式，无需使用有害的助焊剂或含铅焊料即可实现加热效果。
节省能源，同时减少麻烦
这一点非常令人满意。那些需要一小时才能达到工作温度的巨大加热装置就不用了。使用红外线灯，只需几秒钟就能达到目标温度。这大大降低了电费开支。此外，也不必再处理化学干燥剂带来的有害气体问题。这是一种更环保的加工方式。
当然，也有局限性
红外线加热器要求照射方向必须清晰。如果晶圆支架的形状复杂或有多个凹陷处，就会形成阴影区域，导致这些地方无法被加热。因此，需要合理安排加热器的位置。如果试图通过增加功率来解决这个问题，很可能会烧坏晶圆的边缘。因此，需要仔细规划加热器的布局。
我们设计的这些系统可以直接替代那些耗能巨大的旧式加热装置。不过需要注意的是，确保电源能够承受加热器启动时的瞬间高负荷。一旦开始运行，就可以轻松应对了。