晶圆处理设备用温度传感器

在智能工厂中准确获取温度数据 如果想要打造一个真正的智能工厂，那么首先就要摒弃使用接触式传感器。真的。 在高效能的晶圆处理设备中，接触式传感器所带来的延迟问题实在难以忍受。此外，将物理探针插入晶圆表面还会导致污染问题。因此，我们选择使用红外线传感器。它们能够实时采集温度数据，而无需直接接触晶圆，这...