
切勿浪费热量
在半导体加工过程中,当对晶圆进行加热时,实际上是在与物理定律作斗争。从灯源发出的能量大多会散失到各个方向,因此大量宝贵的电能被用来加热外壳,而非晶圆本身。这无疑是一种浪费,也让人感到沮丧。
为何选择黄金作为反射材料
我们选择在反射器上使用黄金,原因很简单:黄金最擅长反射红外线。当然,铝的成本更低,但它容易氧化,从而失去光泽和反射能力。而黄金则不会这样,它始终能保持良好的反射性能,将几乎所有长波辐射重新导向晶圆上。
但这不仅仅关乎电费问题,还关系到对温度的控制。通过调整黄金反射器的形状,我们可以更精准地控制能量分配,从而更快达到目标温度。这样一来,整个硅片上的温度分布也会更加均匀,这才是真正的关键所在。
权衡利弊
不过,提高反射率也有其代价。你可以选择降低功率以节省能源,同时保持相同的温度;或者保持高功率,从而大幅缩短升温时间。但要注意散热问题——当如此多的能量集中在一个小范围内时,温度会上升得非常快。如果散热系统无法应对这种高强度的发热情况,那么周围的电子元件就可能会受损,或者传感器的数据也会出现偏差。
轻松安装
我们设计的这些设备非常易于使用,基本上可以直接替代现有的加热装置。只需将其连接到现有的电源上即可开始使用。你会立刻感受到差异——晶圆达到设定温度的时间大大缩短了。不过要注意检查热电偶,因为由于热量传递速度更快,如果PID控制模块没有经过相应调整,可能会出现失控的情况。