
如何保持100级洁净室的清洁状态
在100级洁净室中工作时,最不希望看到的情况就是加热系统变成“尘埃制造机”。大多数普通加热器的外壳在受热后会开始剥落,同时还会释放出有害的挥发性有机化合物。虽然这些物质看不见,但它们确实存在,且会破坏一切。我们找到了解决办法:使用高纯度石英灯以及定制的不锈钢材料来制造加热器。
为什么选择合成熔融石英
可以说,合成熔融石英是理想的加热材料。与普通加热器中使用的廉价玻璃不同,这种材料在受热时不会破裂或产生微小的碎片。这样就不会有灰尘或杂质附着在芯片上。此外,由于它是红外线加热方式,能量可以直接传递到目标物体上,无需在房间里强制通风,从而避免了灰尘从一个地方转移到另一个地方的情况。
材质的选择(这是大多数人容易犯错的地方)
通常,加热器的故障源于其外壳。我们使用316L不锈钢来制造加热器外壳,并将其打磨至镜面般的光滑度。因为金属表面的孔隙很容易成为灰尘的藏身之处。我们还禁止在制造过程中使用粘合剂或劣质密封件。所有部件都通过TIG焊接方式连接,确保其不会发生反应。我们甚至使用特殊的连接器,以防止电气接点氧化并产生导电性杂质。
需要注意的一些事项
高纯度石英虽然很耐用,但它比较脆弱。它能够承受较大的温度变化,但如果用扳手敲击的话,它就会损坏。因此,在设计固定装置时,必须确保金属与石英之间没有接触。我们可以使用PTFE或陶瓷绝缘体来让石英灯“悬浮”起来,这样才能确保它的安全性。另外,红外线加热的强度很高,会迅速产生大量热量。如果不对通风和散热系统进行调整,就可能会导致设备变形。在开启设备之前,一定要仔细检查气流情况。