在OLED光刻线上，您无法承受漂移。光刻胶烘烤过程中半度摄氏度的偏差就足以影响关键尺寸，并报废整个掩膜层。您需要一款将热预算视为真正工艺参数而非事后考虑的烘干灯。
底层重要性 我们将OLED烘干灯围绕短波卤素发射器和石英外壳设计。它发出快速上升的近红外光，能够顺利进入光刻胶而不烧焦堆叠。晶圆级均匀性在烘烤区域保持在±0.1°C范围内，因此软烘烤和硬烘烤曲线实际上与配方相符。 由于采用了颗粒控制的组装和不挥发的材料，这款设备兼容1-100级洁净室。这样可以使灯自身的颗粒贡献保持在工艺规格以下。系统每天都能重复设定点，因此您的刻蚀和显影预算不会漂移。
为何这在OLED中有效 OLED堆叠较薄且热敏感。光刻胶烘烤过程中的过冲会导致残留、附着问题和良率下降。这款灯具加热迅速且控制严格，从而缩短热浸泡窗口。这意味着可以实现更紧密的CD控制和更少的随机缺陷。 您还将获得更低的能耗，因为灯具迅速达到设定点并以最小的波动保持它。而且它设计为24/7运行，这意味着在烘烤偏差发生时减少了计划外停机和返工。
您需要规划的事项 灯具需要专用的电源总线和EMI意识的布线，以免干扰光刻工具的传感器。安排一次短暂的调试运行，针对您的特定夹具和晶圆堆叠绘制热点图，然后将配置固定在控制器中。 一旦对齐，系统的表现就像一个可重复的热模块，而不仅仅是一个热源。这就是整个目的所在。