লাইনে, ফটোরেজিস্ট বেক প্রক্রিয়াটি আসলে এক ধরনের তাপীয় প্রক্রিয়া। এখানে ±0.1°C তাপমাত্রা বজায় রাখা অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ; কারণ তাপমাত্রার তফাতের কারণে ওয়েফারগুলো নষ্ট হয়ে যায়। যখন ল্যাম্পটি ঠিকমতো কাজ করে না, তখন এর ফলে পুনর্কাজ, অপ্রয়োজনীয় ব্যয় এবং অপরিকল্পিত বন্ধ থাকার সমস্যা দেখা দেয়। তাই আমরা SiC ফার্নেস ল্যাম্প তৈরি করেছি; যা ধারাবাহিকভাবে কাজ করতে পারে।
এর কোরটি হলো শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড এমিটার—কোয়ার্টজ আবরণে থাকা সিলিকন কার্বাইড। এটা দ্রুত ও স্থিতিশীল প্রতিক্রিয়া দেয়। আমরা বেকিং জোনে ±0.1°C তাপমাত্রা বজায় রাখার চেষ্টা করি; আর বিভিন্ন লটের মধ্যে এই তাপমাত্রা ±0.5°C এর মধ্যে থাকে। আউটপুটটি সফ্ট বেক ও হার্ড বেক উভয় ক্ষেত্রেই সামঞ্জস্যপূর্ণ করা যায়; আর র্যাম্প কন্ট্রোলের মাধ্যমে তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করা যায়।
এটি ক্লিনরুম-সংগত; ক্লাস 1–100 পরিবেশে ব্যবহারের জন্য ডিজাইন করা হয়েছে। এতে কোনো ধরনের কণা উৎপন্ন হয় না; ফলে ফটোরেজিস্ট দূষিত হয় না। আমরা দেখেছি যে এই ল্যাম্পগুলো 5,000+ ঘন্টা কাজ করতে পারে; আউটপুটের হ্রাস মাত্র 5% এর কম। এটা 24/7 কাজ করার জন্য উপযুক্ত।
লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ায়, এই ল্যাম্পটি পুরানো হ্যালোজেন ও মিডিয়াম-ওয়েভ সিস্টেমগুলোর বিকল্প হিসেবে ব্যবহৃত হয়—কোনো রেসিপি পরিবর্তনের দরকার নেই। এর ফলে দ্রুত স্থিতিশীলতা অর্জন হয়; বেকিং প্রক্রিয়ায় কম ত্রুটি দেখা দেয়; আর প্রতি ওয়েফারের জন্য কম শক্তি প্রয়োজন হয়। এটা স্ট্যান্ডার্ড ফার্নেসে ব্যবহার করা যায়; আন্তর্জাতিক সেমিকন্ডাক্টর সরঞ্জামগুলোর সাথেও সামঞ্জস্যপূর্ণ। এটা তাৎক্ষণিকভাবে ব্যবহারের জন্য উপযুক্ত।
ইনস্টলেশনের ক্ষেত্রে শুধুমাত্র ফিক্সচারের সারিবদ্ধতা ও কুল্যান্ট ফ্লো নিশ্চিত করা দরকার। ভুলভাবে সারিবদ্ধ রিফ্লেক্টর বা অপর্যাপ্ত কুলিংয়ের কারণে তাপমাত্রা বিকৃত হয়। লাইট জ্বালানোর আগে চেম্বারের জ্যামিতি ও পাওয়ার ফিড যাচাই করুন। একবার সঠিকভাবে সারিবদ্ধ হয়ে গেলে, এটা একটি নির্ভুল তাপীয় উৎস হিসেবে কাজ করে।