晶圆固化灯用反射器

停止在晶圆固化过程中浪费热量 传统红外灯的问题在于：它们会向各个方向散发热量。在半导体固化装置中，这些热量其实都是无用之功。如果没有反射器的话，大部分热量都会照射到设备的墙壁上，而无法作用于晶圆上。这样一来，设备内部会变得非常热，甚至可能烧伤操作人员，或者导致需要保持精确尺寸的部件变形。 让热量准...