Ngăn chặn những mảnh vỡ: Giữ cho các tấm wafer sạch sẽ khi đèn bị hỏng Trong các nhà máy sản xuất linh kiện bán dẫn quy mô lớn, việc đèn bị hỏng...

Trên dây chuyền 300mm, một biến thiên 0.3°C trong quá trình nướng photoresist là sự khác biệt giữa một lượt chạy được kiểm soát và một lô hàng bị...

Trên tầng lithography, bạn biết quy trình như thế nào: một bóng đèn máy sấy wafer dao động chỉ 0.2°C cũng có thể làm lệch kích thước quan trọng...