Trong quá trình nung chảy vật liệu phơi sáng, việc kiểm soát nhiệt độ là rất quan trọng. Người ta cần duy trì nhiệt độ ở mức ±0,1°C; nếu không, sự biến đổi nhiệt độ sẽ khiến cho các tấm wafer bị hỏng và trở thành phế phẩm. Khi chiếc đèn dùng để tạo nhiệt hoạt động kém hiệu quả, chúng ta sẽ phải chịu chi phí cao do phải làm lại công việc, xử lý phế phẩm, và ngừng sản xuất không theo kế hoạch. Vì vậy, chúng tôi đã chế tạo ra loại đèn dùng trong lò nung làm từ chất liệu silicon carbide, giúp duy trì nhiệt độ ổn định qua nhiều ca làm việc liên tục.
Bộ phận cốt lõi của đèn này là bộ phát tia hồng ngoại tần số cao: silicon carbide được đặt trong vỏ bằng thủy tinh thạch anh, giúp tạo ra phản ứng nhanh và ổn định. Chúng tôi hướng tới mức độ đồng đều về nhiệt độ ở mức ±0,1°C trên toàn bộ khu vực nung chảy; đồng thời, mức độ lặp lại giữa các lô sản phẩm cũng được kiểm soát ở mức ±0,5°C. Công suất đầu ra có thể được điều chỉnh để phù hợp với các quy trình nung khác nhau, đồng thời có chức năng kiểm soát nhiệt độ một cách chính xác.
Thiết bị này phù hợp với môi trường phòng sạch, được thiết kế để hoạt động trong môi trường loại 1–100, và không tạo ra bất kỳ hạt bụi nào. Không có khí thải nào có thể gây ô nhiễm vật liệu phơi sáng. Chúng tôi đã thấy các thiết bị này hoạt động liên tục trong hơn 5.000 giờ mà hiệu suất vẫn ở mức dưới 5%, phù hợp để hoạt động 24/7.
Trong quy trình in ấn bán dẫn, thiết bị này có thể thay thế các hệ thống sử dụng halogen hay tia hồng ngoại tần số trung bình mà không cần phải thay đổi quy trình sản xuất. Thiết bị này giúp ổn định nhiệt độ nhanh hơn, giảm số lần điều chỉnh nhiệt độ, và tiết kiệm năng lượng hơn so với các phương pháp truyền thống. Thiết bị này có thể được lắp đặt vào các lò nung tiêu chuẩn, tương thích với các giao diện thiết bị bán dẫn quốc tế, và mang lại hiệu suất nhiệt độ ổn định, có thể được sử dụng ngay lập tức.
Việc lắp đặt rất đơn giản: chỉ cần đảm bảo độ chính xác trong việc định vị thiết bị và dòng chảy của chất làm mát. Nếu các bộ phản chiếu không được đặt đúng vị trí hoặc hệ thống làm mát không đủ mạnh, thì nhiệt độ sẽ bị ảnh hưởng. Hãy kiểm tra kỹ hình dạng của buồng nung và nguồn cung cấp năng lượng trước khi bật đèn. Khi mọi thứ đã được điều chỉnh đúng, thiết bị sẽ hoạt động như một nguồn nhiệt chính xác, đáp ứng đúng nhu cầu của bạn.