Trên dây chuyền in quang khắc OLED, không thể để xảy ra sai lệch nhiệt độ. Sai số chỉ nửa độ Celsius trong quá trình sấy photoresist đã đủ làm thay đổi kích thước quan trọng và loại bỏ toàn bộ cấp mặt nạ. Bạn cần một đèn sấy xử lý ngân sách nhiệt như một thông số quy trình thực thụ, chứ không phải chỉ là điều chỉnh bổ sung.
Những yếu tố quan trọng bên trong
Chúng tôi xây dựng đèn sấy OLED dựa trên các bóng halogen sóng ngắn nằm trong vỏ thạch anh. Nó phát ra bước sóng NIR tăng nhiệt nhanh, có thể xuyên vào lớp photoresist mà không làm cháy các lớp cấu trúc phía dưới. Độ đồng đều nhiệt độ trên tấm wafer duy trì trong phạm vi ±0.1°C xuyên suốt vùng sấy, giúp các chu trình soft bake và hard bake theo sát công thức quy định.
Thiết bị tương thích với phòng sạch cấp độ Class 1–100, nhờ vào quá trình lắp ráp kiểm soát hạt và vật liệu không giải phóng khí. Điều này giữ lượng hạt phát sinh từ chính đèn dưới mức yêu cầu của quy trình. Hệ thống còn lặp lại điểm đặt nhiệt độ một cách ổn định, ngày này qua ngày khác, giúp ngân sách ăn mòn và phát triển không bị lệch.
Tại sao điều này quan trọng với OLED
Cấu trúc OLED mỏng và nhạy cảm với nhiệt. Quá nhiệt khi sấy photoresist gây tồn dư, khó khăn về lớp bám dính và giảm tỷ lệ thu hoạch sản phẩm. Đèn này giúp làm nóng nhanh và kiểm soát chặt chẽ nhiệt độ, rút ngắn thời gian giữ nhiệt. Điều này đồng nghĩa với việc kiểm soát kích thước quan trọng chính xác hơn và giảm thiểu lỗi ngẫu nhiên.
Bạn cũng tiết kiệm năng lượng hơn, vì đèn đạt điểm đặt nhiệt nhanh và duy trì với độ dao động nhỏ nhất. Thiết kế còn phù hợp để vận hành liên tục 24/7, giảm thời gian dừng không kế hoạch và giảm việc làm lại khi xảy ra sai lệch nhiệt độ.
Những điều cần kế hoạch chuẩn bị
Đèn cần có nguồn điện riêng biệt và đường dây dẫn chú ý đến EMI để không gây nhiễu cảm biến của thiết bị in quang khắc. Lên lịch chạy thử ngắn để xác định vị trí điểm nóng phù hợp với chuck và lớp wafer cụ thể của bạn, sau đó cố định chu trình trong bộ điều khiển.
Khi đã căn chỉnh xong, hệ thống hoạt động như một module nhiệt ổn định, không chỉ đơn thuần là nguồn phát nhiệt. Đó chính là mục đích của toàn bộ thiết kế.