Як осушити пластини MEMS без проблем
Під час виготовлення сенсорів типу MEMS останнє, що потрібно, – це наявність крапель вологи чи слідів розчинника, які можуть пошкодити пластину. Але не можна просто нагрівати їх за допомогою тепла – це призведе до напруження матеріалу та утворення зайвих залишків.
Саме тому ми використовуємо нагрівачі короткохвильового інфрачервоного світла. Замість того, щоб марнувати час на нагрівання повітря навколо пластини, інфрачервоне світло передає енергію безпосередньо в сам матеріал. Це ефективний та чистий спосіб нагріву – без хімічних каталізаторів та складнощів.
Як це функціонує
Уявіть собі це як цільовий удар. Нагрівач випромінює фотони, які поглинаються молекулами води, що призводить до миттєвого випаровування рідини.
Найкраще те, що не є жодного потоку повітря. Якщо ви коли-небудь перебували у чистій кімнаті, ви знаєте, що потік повітря є джерелом пилу та частинок. Інфрачервоне світло є „сухим“ способом нагріву – не потрібні небезпечні речовини чи свинцеві припої для передачі тепла.
Економія енергії (та вашого спокою)
Це справді приємно. Пам’ятаєте ті величезні термічні камери, які потребують години на попереднє нагрівання? Забудьте про них. За допомогою інфрачервоних ламп можна досягти потрібної температури за кілька секунд. Це значно зменшує витрати на електроенергію – порівняно зі старими термічними камерами витрати на кВт·год на одну пластину значно менші. Крім того, не потрібно більше боротися з шкідливими викидами, які виникають під час використання хімічних засобів для осушення. Це просто більш чистий спосіб роботи.
Обмеження
Це не є чудом. Є певні обмеження. Інфрачервоне світло потребує прямого кута падіння. Якщо каретка для пластин має незвичайну форму чи глибокі заглибини, то будуть утворюватися „холодні зони“, куди тепло не може дістатися.
Потрібно ретельно продумати розташування ламп. Якщо намагатися подолати „холодні зони“ шляхом збільшення потужності, це може пошкодити краї пластин. Потрібно ретельно спланувати розташування ламп.
Ми розробили ці системи так, щоб вони могли замінити старі, енергозатратні пристрої. Тільки пам’ятайте: переконайтеся, що ваш джерело живлення може витримати початковий пік навантаження, коли лампи починають працювати. Після цього все буде гаразд.