Припиніть марнувати енергію у вашому обладнанні для висушування пластин
Проблема стандартних інфрачервоних ламп полягає у тому, що вони випромінюють тепло у всіх напрямках. Коли ви працюєте всередині камери для обробки напівпровідників, це є марною витратою енергії. Без відбивача значна частина тепла потрапляє на стінки обладнання, а не на саму пластину. Це призводить до проблем – внутрішні частини обладнання нагріваються до такої міри, що можуть пошкодити операторів чи деталі, які мають залишатися точними.
Як направити тепло туди, куди потрібно
Ми вирішуємо цю проблему за допомогою точних відбивачів, які спрямовують інфрачервоне випромінювання у вузький, контрольований промінь. Уявіть собі це як ліхтарик замість звичайної лампочки. Таким чином ви отримуєте більше тепла на поверхні пластини, не роблячи решту обладнання занадто гарячою. Стінки обладнання залишаються прохолодними, а енергія ефективно виконує свою функцію.
Вибір матеріалів
Залежно від довжини хвилі лампи, зазвичай використовується алюміній високої чистоти чи кварц, покритий золотом. Золото є ідеальним матеріалом для довгих хвиль інфрачервоного випромінювання, але це коштує дорого. Для більшості короткохвильових систем краще використовувати алюміній – він є надійним та ефективним.
Але є одна складність – це відстань між лампою та пластиною. Якщо вона занадто мала, виникають точки надмірного нагрівання, які можуть пошкодити пластину. Якщо ж відстань занадто велика, промінь розсіюється, і ви втрачаєте всю ефективність випромінювання.
Що це означає для виробництва
Найкраще те, що ви можете використовувати лампи з меншою потужністю, все одно досягаючи необхідної температури. Вентилятори для охолодження не будуть працювати так наполегливо, що є перевагою для всіх. Однак слід пам’ятати, що через концентрацію променя інтенсивність тепла в цій точці є дуже високою. Тож потрібно бути дуже обережними з контролерами температури. Якщо ви не будете точними, можна пошкодити пластини. Але якщо все налаштовано правильно, обладнання залишається прохолодним, а процес обробки – точним.