Не допускайте перегрева оборудования в чистой комнате
Большинство людей используют для обогрева конвекционные обогреватели. Но в условиях производства полупроводников это приводит к серьезным проблемам. Почему? Потому что тепло распространяется повсюду. Когда нагревается воздух, нагреваются и внутренние стены оборудования; это делает его поверхности опасными для прикосновения. К тому же это нарушает общую температуру в чистой комнате. Это настоящий хаос.
Лучший способ
Мы обнаружили, что лучше всего использовать инфракрасные лампы короткой длины волны. Можно считать их своего рода «фонариками», а не обычными обогревателями. Инфракрасное излучение распространяется по прямой линии. Достаточно направить лампу на пластину или подложку — энергия попадет именно туда, куда нужно. Воздух вокруг и стены оборудования останутся прохладными, ведь они не поглощают эту конкретную длину волны так же, как цель.
Правильная настройка
Нужна большая мощность, помещаемая в небольшое пространство. Поэтому мы обычно используем кварц-галогеновые лампы. Они быстро достигают высоких температур, поэтому не требуется использования огромных и громоздких нагревательных элементов.
Но есть один нюанс: необходимо точно контролировать расстояние между лампой и объектом нагрева. Если лампа слишком близко, возникают «горячие точки», которые могут испортить работу. Если лампа слишком далеко, теряется преимущество лазерного фокусирования. Обычно добавляются отражатели для сосредоточения луча. Это позволяет энергии оставаться на поверхности объекта нагрева и не распространяться по корпусу оборудования.
Недостатки
Ничто не идеально. Эти лампы потребляют много энергии и сильно нагреваются. Конечно, внешняя часть корпуса остается прохладной, но сама лампа сильно нагревается. Необходимо убедиться, что системы охлаждения функционируют исправно. Если охлаждение не справляется, лампы сгорают гораздо быстрее, чем следует.
И, ради Бога, не используйте обычные ПВХ-кабели — они будут плавиться. Лучше использовать кабели из ПТФЭ или стекловолокна, чтобы кабели не превращались в лужу от жара.