Почему мы используем отражатели с золотым покрытием в нагревателях для полупроводниковых процессов
Когда речь идет о нагревателях для чистых комнат, где производятся полупроводники, важен только один фактор – направление тепла на пластину. Не имеет смысла тратить энергию или бюджет на нагрев металлического корпуса устройства.
Вот здесь-то и приходит на помощь золото.
Преимущества золотого покрытия
Если использовать обычные алюминиевые отражатели, значительная часть энергии теряется – она поглощается или рассеивается в воздухе. Это неэффективно.
Благодаря использованию слоя высокочистого золота коэффициент отражения в инфракрасном спектре может превышать 98%. Можно сказать, что это своего рода «зеркало» для тепла. Вместо того чтобы нагреваться вся комната, золото отражает фотоны обратно на пластину.
Результат? Гораздо более равномерное распределение тепла, и достижение нужной температуры происходит гораздо быстрее. Это эффективно и просто.
Проблемы, связанные с теплом
Есть одна проблема: чтобы довести пластину до нужной температуры, в нагревателях используется большое количество энергии. Это хорошо для пластины, но создает большую нагрузку на каркас нагревателя. Если не быть осторожным, тепло может распространяться по всей чистой комнате, что нарушает требуемые параметры.
Убедитесь, что корпус нагревателя имеет надлежащую систему вентиляции или эффективный радиатор для отвода тепла. Тепло должно сосредотачиваться там, где находится пластина, а не в других местах.
Как использовать такие отражатели
Мы сделали эти отражатели такими, чтобы их можно было просто заменить без необходимости полной замены всей системы нагрева.
Одним из преимуществ золота является его химическая инертность. Оно не ржавеет, не окисляется и не отслаивается после нескольких сотен циклов нагрева. Не будет проблем с снижением эффективности, как это бывает с полированной сталью или алюминием.
Небольшой совет по настройке: обязательно проверьте источник питания. Если напряжение меняется, то и мощность нагревателя изменяется. Это приводит к неравномерному нагреву пластины. Держите параметры PID под контролем, и всё будет в порядке.