Pare de desperdiçar calor em seu equipamento de cura de wafers
O problema com as lâmpadas infravermelhas convencionais é que elas emitem calor em todas as direções. Quando se trabalha dentro de uma câmara de cura de semicondutores, isso representa um desperdício enorme de energia. Sem um refletor, uma grande parte desse calor acaba atingindo as paredes do equipamento, em vez do wafer. Isso é um grande problema: o interior do equipamento fica tão quente que pode até queimar os operadores ou danificar as peças que precisam permanecer precisas.
Levando o calor para onde ele realmente precisa estar
Resolvemos esse problema usando refletores precisos, que direcionam a radiação infravermelha para um feixe controlado. Pense nisso como uma lanterna, em vez de uma lâmpada comum. Ao refletir a energia de volta para o alvo, você obtém mais calor na superfície do wafer, sem que o resto do equipamento fique muito quente. As paredes do equipamento permanecem frias, e a energia é utilizada da maneira correta.
Escolhendo os materiais adequados
Dependendo do comprimento de onda da lâmpada, geralmente se utiliza alumínio de alta pureza ou quartzo revestido de ouro. O ouro é o padrão-ouro para radiação infravermelha de longo alcance, mas é caro. Para aplicações de onda curta, o alumínio é a melhor opção: é confiável e eficaz.
Mas aqui está o detalhe importante: a distância entre a lâmpada e o wafer precisa ser ajustada com precisão. Se estiver muito perto, surgem pontos quentes que estragam o produto. Se estiver muito longe, o feixe se espalha, e você perde toda a potência direcional do feixe.
O que isso significa para a fábrica
A melhor parte é que você pode usar lâmpadas com menor potência e ainda assim alcançar as temperaturas desejadas. Os ventiladores de resfriamento não precisam trabalhar tanto, o que é vantajoso para todos. Mas atenção: como o feixe é concentrado, a intensidade no ponto focal é muito alta. Você precisa ter cuidado ao ajustar os controladores de temperatura. Se não for preciso, você pode superar a temperatura desejada e danificar os wafers. Mas se tudo for ajustado corretamente, o equipamento permanecerá frio e o processo será preciso.