Op de productielijn wordt de verwerking van fotoresist gemeten in graden, eenvoudig gezegd. Een verschil van 2°C tijdens het ‘soft bake’- of ‘hard bake’-proces kan ertoe leiden dat de belangrijke dimensies van het product veranderen. Eén enkele deeltje uit de verwarmingseenheid kan al voldoende zijn om de kwaliteit van het product te beïnvloeden. De Clear Quartz Infrared Tube 2700W is speciaal ontworpen voor deze omstandigheden.
Wat technisch gezien belangrijk is
U krijgt 2700W aan infraroodstraling via een transparante kwartsomhulzing. Dit zorgt voor directe stralingswarmte met een lage thermische massa. De opwarmtijd is kort, en de temperatuurcontrole op de chip is nauwkeurig. In de praktijk betekent dit dat er consistente resultaten worden behaald bij het verwerken van fotoresist, en dat de parameters stabiel blijven van batch tot batch. De geometrie van de buis zorgt voor een gelijkmatige verlichting, en de materialen zijn gekozen om uitstoot van gassen te minimaliseren – wat belangrijk is wanneer men in een schone ruimte werkt.
Waarom het werkt waar wij werken
Bij lithografie en de verwerking van fotoresist heeft de temperatuurnauwkeurigheid直接影响 op de controle van de lijndikte en op de kwaliteit van het product. Met deze buis wordt er een consistente warmtetoevoer verkregen over de hele chip, waardoor onnodige herwerkzaamheden worden verminderd. De constructie is geschikt voor gebruik in een schone ruimte, waardoor er minder deeltjes op de chip terechtkomen. De snelle reactietijd zorgt bovendien voor minder tijdverlies tussen de verschillende verwerkingsstappen. Het resultaat is een voorspelbare cyclusduur, minder afval en minder onverwachte stilstanden.
Wat u moet weten
Voor de installatie moet u ervoor zorgen dat de geometrie van de buis en de reflectoren past bij die van uw oven of hitteplaat. Als de afstanden niet correct zijn, kunnen er hete plekken ontstaan. Controleer ook of de spanning en de aansluitingen compatibel zijn. Plan ook voor thermische isolatie, zodat naburige componenten niet beïnvloed worden. Behandel het kwarts als een verbruiksartikel: houd het schoon en plan regelmatig vervanging in, zodat er geen onverwachte problemen optreden middenin een productieproces.