Het goed instellen van de hitteflux tijdens het bewerken van wafers In een fabricagefaciliteit is het verspillen van energie geen probleem dat alleen...

Op de productielijn wordt de verwerking van fotoresist gemeten in graden, eenvoudig gezegd. Een verschil van 2°C tijdens het ‘soft bake’- of ‘hard...

Op de 300mm-lijn is de bakprestatie van de photoresist de sleutel voor overlay- en CD-uniformiteit. Een afwijking van enkele graden over de wafer...