Voorkom dat uw zuiverruimteapparatuur oververhit raakt
De meeste mensen gebruiken gewoon convectieverwarmers om dingen op te warmen. Maar in een halfgeleideromgeving leidt dit tot veel problemen. Waarom? Omdat warmte zich gemakkelijk verspreidt.
Wanneer u de lucht opwarmt, wordt alles heet. De binnenzijden van uw apparaat worden dan te heet om aan te raken. Bovendien beïnvloedt dit de algemene temperatuur in uw zuiverruimte. Het is een chaos.
Een betere manier
We hebben ontdekt dat kortegolflengte-infraroodlampen de oplossing zijn. Denk erom: het is net zoals met een zaklamp in plaats van een ruimtethermometer. Infraroodstraling beweegt zich in rechte lijnen. U richt de lamp gewoon op de wafer of het substraat; de energie gaat rechtstreeks daarheen. De lucht rondom en de wanden van het apparaat blijven relatief koel, omdat ze deze specifieke golflengte niet opnemen.
Het juiste instellen
U hebt veel vermogen nodig in een kleine ruimte. Daarom gebruiken we meestal kwarts-halogentubes. Zij bereiken snel hoge temperaturen, zodat u geen enorme, logge verwarmings-elementen nodig heeft.
Maar er is één belangrijk punt: u moet de afstand precies goed instellen. Als de lamp te dichtbij staat, ontstaan er hete plekken die uw werk kunnen verstoren. Te ver weg en u verliest het voordeel van het ‘laserfocus’. We gebruiken meestal reflectoren om het lichtbundeltje te focussen. Hierdoor blijft de energie op het te bewerken materiaal en dringt deze niet door naar het chassis.
De nadelen
Niets is perfect. Deze hoge-dichtheidslampen trekken veel stroom en worden enorm heet – recht bij de bron. Natuurlijk blijft het buitenste deel van het apparaat koel, maar de lamp zelf wordt flink verhit. U moet ervoor zorgen dat uw koelventilatoren of waterkoelingssystemen goed werken. Als de koeling faalt, zullen de lampen sneller kapotgaan dan nodig is.
En vooruit, gebruik geen standaard PVC-kabels. Die smelten. Gebruik liever PTFE- of glasvezelschillen, zodat de kabels niet smelten onder de hitte.