Mengeringkan Wafer MEMS Tanpa Masalah
Saat membuat sensor MEMS, hal terakhir yang diinginkan adalah adanya tetesan kelembapan atau noda pelarut yang merusak wafer tersebut. Namun, kita tidak bisa menggunakan panas untuk mengeringkannya—hal ini justru akan merusak bahan dasar wafer dan menimbulkan sisa-sisa zat berbahaya.
Itulah sebabnya kita menggunakan pemanas inframerah berfrekuensi rendah. Alih-alih memanaskan udara di sekitar wafer, energi dari pemanas inframerah langsung masuk ke dalam substrat wafer. Prosesnya efisien, bersih, dan tidak memerlukan katalis kimia atau bahan berbahaya lainnya.
Cara kerjanya
Bayangkan saja ini sebagai serangan yang ditujukan secara tepat. Pemanas inframerah mengeluarkan foton yang diserap oleh molekul-molekul air, sehingga cairan tersebut langsung menguap. Yang terbaik adalah tidak ada aliran udara di sekitar wafer. Jika Anda pernah berada di ruang bersih, Anda pasti tahu bahwa aliran udara merupakan sarana penyebaran debu dan partikel-komponen berbahaya. Pemanas inframerah merupakan metode pengeringan yang “kering”; tidak diperlukan bahan berbahaya atau solder berbasis timbal untuk menghasilkan panas.
Menghemat energi
Ini merupakan hal yang sangat menggembirakan. Anda tahu kan, mesin pemanas konvensional membutuhkan waktu satu jam untuk mencapai suhu yang diinginkan? Lupakan saja hal tersebut. Dengan pemanas inframerah, suhu yang diinginkan dapat dicapai dalam hitungan detik. Hal ini tentu mengurangi biaya listrik yang dikeluarkan. Selain itu, kita juga terbebas dari emisi VOC yang dihasilkan oleh bahan pengering kimia. Ini merupakan cara yang lebih bersih untuk melakukan proses pengeringan.
Kekurangannya
Namun, ini bukanlah solusi ajaib. Ada beberapa kekurangan. Pemanas inframerah hanya efektif jika sinarnya dapat menjangkau permukaan wafer secara langsung. Jika wafer memiliki bentuk yang aneh atau memiliki bagian-bagian yang sulit dijangkau, maka akan muncul area-area yang tidak mendapat panas. Anda perlu merancang posisi pemanas dengan hati-hati. Jika Anda mencoba meningkatkan daya pemanas untuk mengatasi masalah ini, maka bagian tepi wafer akan rusak. Diperlukan perencanaan yang matang agar sistem ini berfungsi dengan baik.
Kami merancang sistem ini agar dapat digunakan menggantikan unit pemanas konvensional yang membutuhkan banyak energi. Perhatikan saja: pastikan suplai daya Anda mampu menangani lonjakan daya saat pemanas mulai beroperasi. Setelah itu, semuanya akan berjalan lancar.