Mendapatkan Data Suhu yang Akurat di Pabrik Cerdas
Jika Anda sedang membangun pabrik cerdas, hal pertama yang perlu dilakukan adalah menghilangkan penggunaan sensor kontak. Serius.
Dalam alat pemrosesan wafer berkapasitas tinggi, kita tidak bisa membiarkan adanya keterlambatan dalam mendapatkan data suhu. Selain itu, menggunakan probe fisik justru akan menyebabkan kontaminasi. Itulah mengapa kita menggunakan sistem inframerah (IR). Sistem ini memungkinkan kita mendapatkan data suhu secara real-time, tanpa perlu menyentuh permukaan wafer. Data tersebut kemudian dikirim langsung ke PLC atau SCADA. Sangat mudah, bukan?
Mengapa kita menggunakan IR untuk pemantauan suhu
Proses pemrosesan wafer membutuhkan keseragaman suhu yang tinggi. Jika ada perbedaan suhu sebesar beberapa derajat di permukaan wafer berdiameter 300 mm, maka hasil produksi akan rusak.
Sensor IR mampu mendeteksi radiasi yang dipancarkan dari permukaan wafer dan mengubahnya menjadi nilai suhu secara instan. Yang terbaik adalah, tidak ada “massa panas” yang perlu dipanaskan. Berbeda dengan termokopel yang membutuhkan waktu lama untuk bereaksi, IR memberikan data suhu secara langsung.
Prosesnya sangat cepat. Artinya, sistem kontrol dapat mendeteksi peningkatan suhu sebelum hal tersebut berujung pada bencana.
Membuat data menjadi berguna
Sensor memang bagus, tetapi itu hanyalah awalnya saja. Untuk sistem yang benar-benar cerdas, data tersebut perlu dialirkan ke sistem yang sesuai dengan standar Industry 4.0. Dengan begitu, kita akan mendapatkan catatan lengkap mengenai profil suhu setiap wafer. Hal ini sangat membantu dalam proses perawatan—kita dapat melihat kapan komponen pemanas mulai bermasalah, sehingga kita bisa menggantinya sebelum komponen tersebut rusak total.
Bagian-bagian yang rumit (karena tidak ada yang sempurna)
IR bukanlah solusi ajaib. Kita perlu berhati-hati dengan faktor emisivitas. Jika reflektivitas permukaan berubah selama proses berlangsung, maka data yang diperoleh akan salah. Kita perlu menyesuaikan sensor sesuai dengan jenis bahan yang digunakan, atau data yang didapatkan akan tidak akurat.
Selain itu, ada juga masalah terkait garis pandang. Jika produk sampingan proses menumpuk di lensa, maka sinyal akan terhalang. Data yang didapatkan akan menjadi tidak akurat. Solusinya sederhana: pastikan aliran gas pembersih tetap lancar, dan jaga lensa tetap bersih. Dengan begitu, semuanya akan berjalan lancar.