सेमी-थर्मल प्रक्रियाओं में ऊर्जा के नुकसान को रोकना
ईमानदारी से कहें तो, पुराने तरह के क्लीन रूम ओवन, वास्तव में विशाल हीटर ही हैं… ऐसे ओवनों का उद्देश्य केवल कुछ वेफरों को सही तापमान पर लाना ही है। ऐसे ओवनों में हवा, दीवारें, छत – सब कुछ गर्म हो जाता है… लेकिन वह हिस्सा नहीं जिसकी वास्तव में आवश्यकता है। यह ऊर्जा का बेकार उपयोग है।
इसीलिए हम इन्फ्रारेड ऊष्मा स्रोतों का उपयोग कर रहे हैं। ऐसे स्रोतों से वेफरों/सब्सट्रेटों को सीधे ही गर्म किया जा सकता है… यह एक बेहतर एवं कुशल तरीका है।
लक्षित ऊष्मा का जादू
इन्फ्रारेड ऊष्मा, वास्तव में विकिरण ही है। इसे ठंडे दिनों में सूर्य की किरणों के समान ही समझें… हवा तो ठंडी ही रहती है, लेकिन आपको तुरंत ही गर्मी महसूस होती है। चूँकि हमें हवा के गर्म होने का इंतज़ार नहीं करना पड़ता, इसलिए ऊष्मा तुरंत ही पहुँच जाती है।
आपके द्वारा उपयोग किए जाने वाले सामग्री के आधार पर, हम आमतौर पर शॉर्ट-वेव या मीडियम-वेव इमीटरों का उपयोग करते हैं। यदि सब्सट्रेट मोटा है, तो शॉर्ट-वेव इमीटर ही उपयुक्त है… क्योंकि यह ऊष्मा सामग्री के अंदर तक पहुँच जाती है। पतली सामग्रियों के लिए मीडियम-वेव इमीटर ही उपयुक्त है… क्योंकि यह सतह पर ही ऊष्मा पहुँचाता है।
दोनों ही मामलों में, प्रति वेफर कम ऊर्जा ही खर्च होती है… इससे आपका कार्बन फुटप्रिंट कम हो जाता है, एवं आपका ऊर्जा बिल भी कम हो जाता है।
क्लीन रूम संबंधी समस्याओं का समाधान
हम सभी जानते हैं कि क्लीन रूम में थोड़ी सी धूल भी पूरे उत्पादन प्रक्रम को नष्ट कर सकती है… इसलिए हम लैंपों को क्वार्ट्ज से ढक देते हैं… ऐसा करने से कोई धूल या प्रदूषक नहीं रह जाता… हम ऐसे लैंपों के साथ उच्च-सटीकता वाले PID कंट्रोलर भी उपयोग करते हैं… ताकि आपको अपने उत्पादों को नष्ट होने की चिंता न करनी पड़े।
लेकिन ध्यान रखें… ऊर्जा घनत्व पर ध्यान देना आवश्यक है… ऐसे इन्फ्रारेड इमीटरों से बहुत अधिक ऊष्मा उत्पन्न होती है… यदि आपका कूलिंग सिस्टम पर्याप्त न हो, तो यह ऊष्मा सब्सट्रेट पर पड़कर ओवन के ढाँचे को नष्ट कर सकती है… या सेंसरों को भी प्रभावित कर सकती है… यह तो एक शक्तिशाली उपकरण है… इसलिए इसकी ऊष्मा का सम्मान करना आवश्यक है।
वास्तविक लाभ
सबसे अच्छी बात यह है कि आपको अपनी जगह वापस मिल जाती है… आप उस विशाल कंवेक्शन ओवन के बजाय एक छोटे आकार के इन्फ्रारेड टनल का उपयोग कर सकते हैं… यह तो एक बेहतरीन विकल्प है… आप जगह बचा सकते हैं… एवं आपके HVAC सिस्टम को भी अतिरिक्त ऊर्जा खर्च करने की आवश्यकता नहीं पड़ेगी… यही तो “ग्रीन फैक्ट्री” चलाने का सबसे आसान तरीका है… बिना अपने उत्पादन क्षमता को कम किए।