מנורת תנור מסיב סיליקון (SiC)

בתהליך האפייה של חומרי הפוטורזיסט, מדובר בתהליך תרמי מהיר מאוד. יש צורך לשמור על טמפרטורה של ±0.1°C – כי כל סטייה מכך עלולה לגרום לאובדן הנתונים...