בתהליך האפייה של חומרי הפוטורזיסט, מדובר בתהליך תרמי מהיר מאוד. יש צורך לשמור על טמפרטורה של ±0.1°C – כי כל סטייה מכך עלולה לגרום לאובדן הנתונים שנאגרו על הוופרים, ולהפוך אותם לחומר בלתי ניתן לשימוש. כאשר המנורה אינה עובדת כראוי, יש צורך בתיקונים, בהשלכת החומרים הבלתי ניתנים לשימוש, ובעצירת העבודה באופן בלתי מתוכנן. לכן פיתחנו את מנורות SiC, שיכולות לעבוד שעה אחר שעה, תוך שמירה על טמפרטורה קבועה.
הליבה של המנורה היא גוף פולט אינפרא-אדום בגלים קצרים – סיליקון קרביד בתוך מעטפת קוורץ, שמאפשרת תגובה מהירה ויציבה. אנו שואפים לשמור על טמפרטורה אחידה של ±0.1°C בכל אזור האפייה, ועל עקביות בין סדרות הייצור השונות – בטווח של ±0.5°C. ניתן לשלוט בכמות החום הנפלטת, כדי לאפשר אפייה רכה או קשה, תוך שמירה על טמפרטורה קבועה.
המנורה מתאימה לשימוש בחדרים נקיים, והיא מיועדת לשימוש בסביבות מסוג Class 1–100, ללא יצירת חלקיקים. אין סיכוי שהמנורה תזהם את חומרי הפוטורזיסט. ראינו מנורות אלו פועלות במשך 5,000 שעות ויותר, עם ירידה של פחות מ-5% ביעילות העבודה שלהן – הן מיועדות לפעולה 24/7.
בתהליך הליתוגרפיה, המנורה הזו מחליפה את המנורות ההלוגניות המסורתיות – ללא צורך בשינוי בתהליכי העבודה. ניתן להשיג יציבות מהירה יותר, פחות סטיות בטמפרטורה, וצריכת אנרגיה נמוכה יותר לכל וופר. המנורה מתאימה להתקנים סטנדרטיים, ומתאימה לממשקים של ציוד סמיקונדוקטורי בינלאומי. היא מספקת פרופיל תרמי אמין ועקבי, שמאפשר שימוש מיידי בה.
ההתקנה של המנורה כוללת רק כמה שלבים פשוטים: התאמת ההתקן וזרימת הקרירות. אם המראות אינם מותאמים כראוי או שהקירור אינו מספיק, זה עלול לפגוע בפרופיל התרמי. יש לוודא את גאומטריית החדר ואת אספקת האנרגיה לפני ההפעלה. לאחר ההתאמה, המנורה פועלת כמקור חום אמין ומדויק – בדיוק במקום שנדרש.