Pourquoi l’infrarouge est supérieur à l’air chaud pour le séchage des semi-conducteurs
Si vous utilisez encore des systèmes de circulation d’air chaud dans vos lignes de rinçage, vous perdez inévitablement du temps. Pensez à son fonctionnement : il faut d’abord chauffer tout l’air et les parois de la chambre avant même que les wafer ne ressentent une variation de température. C’est lent. Il y a toujours un temps de latence chaque fois que vous modifiez la température, et dans une usine à grande échelle, ces quelques secondes représentent beaucoup de temps perdu.
Éliminez l’intermédiaire
C’est là que l’infrarouge entre en jeu. Au lieu de chauffer l’air, les lampes infrarouges émettent des rayonnements électromagnétiques directement vers le substrat. Pas besoin d’attendre que l’air se réchauffe. Aucun temps de latence. Nous utilisons des lampes étanches afin que la vapeur et l’humidité provenant du rinçage ne endommagent pas les composants électroniques. Comme le transfert d’énergie est direct, le temps nécessaire pour chauffer les wafer passe de minutes à secondes. La productivité augmente, car les wafer n’ont plus besoin d’attendre que le séchage soit terminé.
Diriger la chaleur exactement là où elle est nécessaire
Nous utilisons des joints et des revêtements spéciaux pour empêcher l’eau d’entrer pendant la phase de transition entre le rinçage et le séchage. Avec un système infrarouge à haute densité, vous pouvez diriger la chaleur exactement là où il y a de l’eau. Plus de zones froides frustrantes, comme celles que l’on retrouve dans les systèmes à air forcé.
Mais il faut faire attention
L’infrarouge est très puissant. Si la vitesse du convoyeur n’est pas correcte ou si les lampes sont trop proches les unes des autres, vous risquez de surchauffer une petite zone et de déformer les wafer fins. Il faut donc prendre le temps de régler correctement la distance et la puissance des lampes. Une fois cela fait, c’est parfait.
Économiser de l’espace
Le meilleur avantage ? Vous pouvez abandonner les gros ventilateurs et les systèmes de ventilation complexes. En remplaçant le four à convection par des lampes infrarouges, vous réduisez l’espace nécessaire pour installer l’équipement. Il suffit de brancher les lampes, de programmer les minuteries, et de les intégrer dans votre ligne de production existante. Vos ingénieurs seront également ravis : plus de maintenance des ventilateurs ou de remplacement des filtres. Tout devient plus simple.