Évitez que des éclats de verre ne destructionnent vos wafers
Dans une usine de semi-conducteurs à forte production, la rupture d’une lampe n’est pas simplement un problème gênant ou une interruption temporaire du travail. C’est un véritable cauchemar. Lorsqu’un tube IR tombe en panne, des éclats de quartz et du gaz halogène se retrouvent directement sur les wafers. Un seul incident suffit pour que toute la série de wafers devienne inutilisable. Nous avons passé beaucoup de temps à réfléchir à des solutions pour éviter cela, en nous concentrant sur les matériaux utilisés et sur la manière dont les lampes sont montées.
Les matériaux que nous utilisons
Nous utilisons du quartz synthétique de haute pureté pour l’enveloppe de la lampe. Pourquoi ? Parce qu’il peut résister aux chocs thermiques sans se briser. Mais nous ne nous arrêtons pas là. Nous ajoutons également une gaine de protection ou un revêtement fin. Cela agit comme une sorte de filet de sécurité : si le filament brûle et que le tube tombe en panne, cette barrière empêche les éclats de verre de toucher les wafers.
Le problème de la chaleur
Il est nécessaire d’utiliser une forte puissance électrique pour faire monter rapidement la température des wafers. Mais cela présente un risque : trop de puissance dans un espace restreint crée des points chauds. Nous ajustons donc la tension et la puissance afin que la chaleur se répartisse uniformément dans tout le tube. Attention : si vous utilisez pleine puissance, votre système de refroidissement doit être impeccable. Sinon, les joints électrodes peuvent céder, ce qui entraîne souvent une rupture prématurée du tube.
Assurer de bonnes connexions électriques
Il y a aussi le problème des connexions électriques. Nous utilisons des connecteurs de précision, car les arcs électriques sont très dangereux. Ils créent des pics de chaleur qui endommagent progressivement la paroi en quartz. En assurant des connexions étanches et résistantes aux vibrations, nous réduisons la pression mécanique sur les extrémités du tube. Ainsi, vous disposez d’une source de chaleur fiable. Bien sûr, il faut toujours maintenir en bon état son système de refroidissement, mais cela élimine le principal point de défaillance dans le système de chauffage.