Protéger les équipements avec des lampes infrarouges revêtues d’or dans les processus humides
Lorsque l’on travaille avec des produits chimiques utilisés pour le nettoyage des semi-conducteurs, on est en fait en présence de solvants volatils et inflammables. C’est un environnement très dangereux. Si l’on utilise simplement une lampe infrarouge ordinaire, on favorise en réalité l’apparition d’un incendie.
C’est pourquoi nous utilisons des lampes en quartz revêtues d’or, dotées d’un système de scellement très efficace. Cela permet d’éloigner les étincelles des produits chimiques et d’éviter que la corrosion ne endommage les équipements.
Pourquoi l’or et le quartz ?
D’abord, il y a la couche d’or. Ce n’est pas juste pour l’aspect esthétique ; l’or agit en fait comme un miroir, renvoyant toute l’énergie infrarouge directement sur la pâte à semiconducteur. Le meilleur aspect ? Cela empêche la chaleur de revenir vers l’intérieur de l’appareil, ce qui évite de endommager les connexions électriques.
Ensuite, il y a le quartz. Nous l’utilisons parce qu’il résiste bien aux chocs. On peut allumer et éteindre l’appareil sans que le verre ne se brise sous la pression. Mais le quartz est poreux. Dans un laboratoire chimique, des vapeurs peuvent s’infiltrer dans les fissures du verre.
Sécuriser les zones dangereuses
Pour éviter que des étincelles ou de la chaleur ne atteignent ces vapeurs inflammables, nous scellons hermétiquement les extrémités de la lampe. Nous utilisons des colles époxyes ou des joints en céramique résistants à haute température pour sceller les électrodes. On peut considérer cela comme un mur physique entre le filament chauffé et l’air circulant autour de lui.
Nous veillons à ce que ces lampes soient complètement étanches. Si un joint venait à se détériorer, le gaz halogène s’échapperait et le filament exploserait immédiatement. Ça semble dangereux, mais c’est en réalité positif : une explosion rapide est bien mieux qu’une fuite lente qui permettrait aux gaz dangereux de s’infiltrer dans l’appareil.
Les compromis
Le problème, c’est que les lampes revêtues d’or produisent une chaleur beaucoup plus intense et plus rapidement que les lampes en quartz transparent. Les temps de démarrage sont donc réduits, ce qui est avantageux pour les capacités de production.
Mais cela a un coût. L’or n’est pas bon marché, et sa couche est fragile. Un simple rayure pendant l’installation peut provoquer des points chauds, ce qui rend le chauffage inégal. De plus, il faut absolument que les techniciens portent des gants. Les huiles cutanées sont un ennemi redoutable : si elles entrent en contact avec le quartz, elles se fixent dans le verre sous l’effet de la forte chaleur, ce qui entraîne la destruction de la lampe. Ce n’est certainement pas une façon agréable de passer un mardi.