در فرآیند پخت فوتورزیست، استفاده از لامپهای حرارتی بسیار مهم است؛ زیرا باید دقت حرارتی در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ شود. در غیر این صورت، تغییرات حرارتی باعث از بین رفتن کیفیت ویفرها و تبدیل آنها به ضایعات میشود. وقتی که عملکرد لامپ ضعیف باشد، هزینههای زیادی مانند بازسازی، تولید ضایعات و توقف غیربهنگام تولید به وجود میآید. بنابراین ما لامپهای سیلیکون کربایدی را طوری طراحی کردهایم که بتوانند شیفت به شیفت، با دقت حرارتی یکنواخت کار کنند.
هسته این لامپ، یک منبع تابش مادون قرمز با امواج کوتاه است؛ یعنی سیلیکون کرباید که در یک پوشش کوارتزی قرار دارد و برای پاسخگویی سریع و پایدار طراحی شده است. هدف ما، داشتن یکنواختی حرارتی در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد در سراسر ناحیه پخت است؛ همچنین، تکرارپذیری فرآیند در بین دستههای مختلف، در محدوده ±۰.۵ درجه سانتیگراد باقی میماند. خروجی این لامپ قابل تنظیم است؛ بنابراین میتوان آن را برای فرآیندهای پخت مختلف استفاده کرد. کنترل تدریجی دما نیز به حفظ دقت حرارتی کمک میکند.
این لامپ، سازگار با محیطهای پاک است؛ برای محیطهای کلاس ۱ تا ۱۰۰ طراحی شده و هیچ ذرهای تولید نمیکند. همچنین، این لامپ باعث آلودگی فوتورزیست نمیشود. ما شاهد عملکرد این لامپ در مدت بیش از ۵۰۰۰ ساعت بودهایم؛ کاهش خروجی آن کمتر از ۵٪ بوده است. این لامپ برای کار ۲۴/۷ مناسب است.
در فرآیند لیتوگرافی، این لامپ جایگزین سیستمهای هالوژنی و سیستمهای با امواج متوسط میشود؛ بدون نیاز به تغییر روشهای فرآیندی. این لامپ باعث تثبیت سریعتر دما، کاهش تغییرات حرارتی و کاهش مصرف انرژی برای هر ویفر میشود. این لامپ قابل نصب در دستگاههای فرآوری استاندارد است؛ همچنین، سازگار با رابطهای مورد استفاده در تجهیزات نیمههادی است. این لامپ، پروفایل حرارتی یکنواختی را ارائه میدهد که میتواند برای ارزیابی فوری استفاده شود.
نصب این لامپ بسیار ساده است؛ کافی است دستگاه را تنظیم کرده و جریان سرما را کنترل کنید. اگر بازتابندهها مناسب نباشند یا سیستم خنککننده کافی نباشد، پروفایل حرارتی تحت تأثیر قرار خواهد گرفت. پیش از روشن کردن لامپ، باید هندسه محفظه و جریان انرژی را بررسی کرد. پس از تنظیم، این لامپ به عنوان یک منبع حرارتی قابل اعتماد عمل خواهد کرد.