تنظیم صحیح میزان انرژی در فرآیند پردازش ویفرها
در کارخانههای تولید، هدر رفتن انرژی تنها یک مشکل مربوط به بودجه نیست؛ بلکه نشانهای از شکست در عملکرد سیستم است. وقتی که کلید لامپ را روشن میکنید، میخواهید که هر وات انرژی به سطح ویفر برسد؛ نمیخواهید که این انرژی در اطراف اتاق پخش شود یا سقف را گرم کند.
برای رسیدن به این هدف، از ترکیب خاصی استفاده میکنیم: سپرهایی از جنس شیشه کوارتز با خلوص بالا، و منعکسکنندههایی که با طلا پوشانده شدهاند.
چرا طلا؟
اکثر منعکسکنندهها، انرژی را تنها پراکنده میکنند؛ این کار باعث ایجاد مشکلاتی میشود. اما طلا در برخورد با تابش مادون قرمز عملکرد فوقالعادهای دارد؛ لایه طلا، امواج مادون قرمز را مستقیماً به سمت هدف بازمیگرداند.
در واقع، این روش باعث میشود که الگوی تابش گسترده، به یک پرتو متمرکز تبدیل شود. بهترین نکته این است که میتوانید دانسیته گرما را بدون نیاز به افزایش ولتاژ، بهبود بخشید.
نقش کوارتز
شیشه کوارتز نیز برای ساخت سپرها استفاده میشود؛ زیرا شوکهای حرارتی در این سیستمها بسیار شدید است. اکثر مواد در همان لحظهای که دمای لامپ به حداکثر میرسد، تغییر شکل میدهند یا خرد میشوند؛ اما کوارتز چنین نمیکند. کوارتز، فیلامنت لامپ را در امان نگه میدارد و اجازه میدهد که امواج مادون قرمز از آن عبور کنند، بدون اینکه انرژی را جذب کند.
مشکلات
البته، این روش بسیار کارآمد است، اما نیاز به نگهداری دقیق دارد. طلا نیز حساس است؛ اگر در کارخانه گرد و غبار یا بخارات آلی وجود داشته باشد، این لایه طلا سریعاً کثیف میشود. وقتی که این لایه کثیف شود، قدرت بازتاب نور کاهش مییابد و دمای ویفر نیز تغییر میکند. برای حفظ یکپارچگی سیستم، باید به طور منظم سیستم را تمیز کنید؛ هیچ راه میانبری وجود ندارد.
کاربرد عملی
وقتی که این سیستمها را در سیستم خود نصب میکنید، حتماً فنهای خنککننده را بررسی کنید. از آنجایی که مقدار زیادی انرژی به سمت ویفر فرستاده میشود، بدنه لامپ نسبتاً خنک میماند؛ اما نقطه تمرکز انرژی بسیار شدید است. اگر محل قرارگیری سپرها کمی از مرکز منحرف شود، نقاط گرمی روی ویفر ایجاد خواهد شد. با تنظیم صحیح محل قرارگیری سپرها، میتوانید مصرف انرژی در هر چرخه را به طور فوری کاهش دهید.