متوقف کردن فاجعه آلودگی ویفرها در هیترهای CNT
اگر تا به حال در فرآیند تولید CNT کار کردهاید، میدانید که چه اتفاقاتی میتواند رخ دهد. شما در حال تولید با بار بالا هستید؛ فشار زیادی وجود دارد، و ناگهان یکی از لامپهای مادون قرمز خراب میشود.
این صرفاً خرابی یک لامپ نیست؛ بلکه یک فاجعه است. ناگهان، ویفرها پر از تکههای کوارتز و گاز هالوژن میشوند. یک خرابی کوچک میتواند باعث ایجاد یک زنجیره واکنش شود که منجر به از بین رفتن کل محصولات تولید شده میشود. این مشکلی است که هیچکس نمیخواهد با آن روبرو شود.
دقیقاً به همین دلیل بود که ما هیترهای مادون قرمز خود را به این شکل طراحی کردیم؛ میخواستیم این زنجیره خرابیها را قبل از شروع آن متوقف کنیم.
مقابله با «تکههای شیشهای»
ما فقط به یک پوسته نازک کوارتز برای جلوگیری از خرابی اعتماد نمیکنیم؛ این کار میتواند مشکلات زیادی ایجاد کند. در عوض، ما از پوششهای حفاظتی برای محافظت از لامپها استفاده میکنیم.
میتوانید آن را مانند یک تور حفاظتی در نظر بگیرید؛ اگر لامپ به دلیل تغییرات دمایی خراب شود، پوشش حفاظتی تکههای شیشهای را جذب میکند. دیگر هیچ تکه شیشهای روی سطح ویفرها نخواهد بود؛ در نتیجه، منطقه تولید شما تمیز خواهد ماند.
مشکلات مربوط به گرما
وقتی که از حداکثر توان لامپ استفاده میکنید، مشکلات زیادی در نقطه اتصال فیلامنت به کوارتز ایجاد میشود؛ اینجاست که اکثر لامپها خراب میشوند. در این حالت، اکسیژن وارد لامپ میشود، فیلامنت میشکند، و لامپ خراب میشود.
برای جلوگیری از این مشکل، ما از کاپهای حفاظتی استفاده کردیم؛ با حفظ دمای پایدار در این نقطه، لامپ میتواند مدت زمان بیشتری کار کند. این راهحل سادهای است، اما میتواند از مشکلات زیادی جلوگیری کند.
تعادل منطقی
باید صادق باشیم؛ استفاده از پوششهای حفاظتی به معنای کاهش مقدار کمی از انرژی مادون قرمز است. ممکن است میزان گرمایی که به ویفرها میرسد، ۳ تا ۵ درصد کمتر شود.
اما این مشکل کوچک، در مقایسه با توقف کل خط تولید، ارزشمند است. این قیمت کوچک، برای جلوگیری از از بین رفتن محصولات تولید شده، ارزشمند است.
تعویض لامپها
ما همچنین مطمئن شدیم که تعویض این لامپها بسیار آسان باشد. وقتی که لامپ خراب میشود، کافی است کل مجموعه را بیرون بکشید؛ دیگر نیازی نیست نگران باقی ماندن تکههای شیشهای در محفظه باشید.
فقط کافی است لامپ جدید را نصب کنید، اتصالات را بررسی کنید، و دوباره کار خود را ادامه دهید. فقط مطمئن شوید که سیستم تهویه به خوبی کار میکند تا گازهای باقیمانده از بین بروند.