碳纳米管制备加热器

避免碳纳米管加热器中的晶圆污染问题 如果你从事过碳纳米管的制造工作，那么你就知道那种糟糕的情况了。在高负荷生产过程中，压力很大，这时往往会出现一个问题：某个红外灯管突然损坏了。 这不仅仅是灯泡损坏而已，而是一场灾难。一旦发生这种情况，晶圆上就会布满石英碎片和卤素气体。一个小小的故障就会引发连锁反应...