Ngừng việc sử dụng lò nướng trong buồng chân không đi!
Bất kỳ ai từng làm việc trong nhà máy sản xuất linh kiện bán dẫn đều hiểu rõ vấn đề này: bạn cần làm nóng wafer, nhưng lại không muốn biến buồng chân không thành một “lò nướng”.
Những bóng đèn hồng ngoại thông thường thực chất chỉ là những bóng đèn thông thường được tăng cường công suất – chúng tỏa nhiệt ra mọi hướng. Trong môi trường chân không, năng lượng này không có chỗ để thoát ra; nó chỉ có thể va vào các bức tường bên trong thiết bị. Chẳng mấy chốc, thiết bị sẽ bị quá nhiệt, và người vận hành sẽ phải đối mặt với nguy cơ bị bỏng.
Đây quả là một vấn đề khó giải quyết. Nhưng vẫn có cách tốt hơn để xử lý vấn đề này.
Hãy tập trung nhiệt lượng vào mục tiêu cần thiết, chứ đừng để nhiệt lan tỏa ra mọi hướng.
Chúng tôi sử dụng công nghệ hồng ngoại có khả năng chiếu sáng theo một hướng cụ thể để giải quyết vấn đề này. Thay vì để nhiệt lan tỏa khắp nơi, chúng tôi sử dụng các bộ phản xạ và bộ phát năng lượng chuyên dụng để đưa nhiệt lượng đến chính nơi cần thiết.
Điều này mang lại sự khác biệt lớn. Wafer sẽ nhận được đủ nhiệt lượng cần thiết, trong khi các bộ phận xung quanh vẫn giữ được nhiệt độ ổn định. Bạn có thể chạm vào thiết bị mà không lo bị bỏng.
Vấn đề trong môi trường chân không thực sự rất nghiêm trọng.
Khi loại bỏ không khí khỏi buồng chân không, hiệu ứng làm mát bằng convection sẽ biến mất. Điều này có nghĩa là các bóng đèn không thể tự làm mát được nữa; chúng phải dựa hoàn toàn vào bức xạ để tỏa nhiệt.
Nếu bạn sử dụng bóng đèn halogen công suất cao mà không có bộ tản nhiệt hoặc bộ phản xạ phù hợp, bóng đèn sẽ nhanh chóng bị hỏng. Chúng tôi sử dụng vỏ bọc bằng thạch anh để hấp thụ nhiệt, nhưng bạn vẫn cần chú ý đến nguồn điện cung cấp. Những ống đèn này thường gây ra sự gia tăng dòng điện trong lúc khởi động.
Tốc độ xử lý nhanh hơn, áp lực ít hơn.
Việc giảm lượng nhiệt thừa không chỉ giúp đảm bảo an toàn, mà còn giúp tăng tốc độ xử lý. Khi các bức tường của buồng chân không không còn hấp thụ nhiệt nữa, chúng sẽ không còn hoạt động như những bộ tản nhiệt nữa. Điều này giúp giảm thời gian cần thiết để làm mát thiết bị, từ đó tăng tốc độ xử lý.
Một lưu ý quan trọng khi lắp đặt: hãy sử dụng các dây dẫn có khả năng chịu nhiệt cao, và đảm bảo rằng các bộ phản xạ được điều chỉnh chính xác. Nếu bộ phản xạ lệch đi vài độ thôi, điểm nóng sẽ không còn tập trung trên wafer nữa, mà sẽ chuyển sang các bức tường. Và thế là bạn lại quay về điểm xuất phát.