Tại sao chúng ta sử dụng các bộ phản xạ được phủ vàng trong các thiết bị sưởi cho phòng sạch?
Khi làm việc với các thiết bị sưởi trong phòng sạch dùng cho công nghệ bán dẫn, điều duy nhất quan trọng là việc truyền nhiệt đến wafer. Bạn không muốn lãng phí năng lượng hay ngân sách vào việc làm nóng khung máy bằng kim loại.
Đó chính là lý do tại sao chúng ta sử dụng lớp phủ vàng.
Ưu điểm của lớp phủ vàng
Nếu sử dụng các bộ phản xạ bằng nhôm thông thường, bạn sẽ mất rất nhiều năng lượng. Năng lượng này sẽ bị hấp thụ hoặc lan tỏa ra không khí, gây lãng phí.
Bằng cách sử dụng lớp phủ vàng có độ tinh khiết cao, chúng ta có thể nâng tỷ lệ phản xạ ánh sáng lên trên 98% trong dải bước sóng hồng ngoại. Có thể coi đây như một “gương” để phản xạ nhiệt. Thay vì để thiết bị sưởi làm nóng toàn bộ căn phòng, lớp vàng sẽ phản xạ ánh sáng trở lại ngay vào wafer.
Kết quả là bạn sẽ có được độ đồng đều về nhiệt độ cao hơn, và có thể đạt được nhiệt độ mong muốn nhanh hơn. Đó chính là ưu điểm của việc sử dụng lớp phủ vàng.
Vấn đề liên quan đến nhiệt
Tuy nhiên, để đưa wafer lên đúng nhiệt độ cần thiết, các thiết bị sưởi này phải tạo ra một lượng nhiệt lớn trong một không gian nhỏ. Điều này tạo ra áp lực lớn lên khung máy. Nếu không cẩn thận, nhiệt lượng này có thể lan sang các khu vực khác trong phòng sạch, khiến nhiệt độ không đồng đều.
Hãy đảm bảo rằng khung máy có hệ thống tản nhiệt tốt. Bạn muốn nhiệt được tập trung ngay tại vị trí của wafer, chứ không phải ở mọi nơi khác.
Cách vận hành và duy trì hiệu suất
Chúng tôi thiết kế các bộ phản xạ này để có thể thay thế ngay lập tức, vì vậy bạn không cần phải thay đổi toàn bộ hệ thống.
Một ưu điểm nữa của vàng là tính ổn định về mặt hóa học. Vàng không bị gỉ sét, không bị oxy hóa, và cũng không bị bong tróc sau vài trăm lần sử dụng. Bạn sẽ không phải đối mặt với vấn đề giảm hiệu suất như khi sử dụng thép hoặc nhôm được mài nhẵn.
Một mẹo nhỏ khi lắp đặt: hãy kiểm tra kỹ nguồn điện. Nếu điện áp thay đổi, lượng nhiệt tạo ra cũng sẽ thay đổi. Điều này dẫn đến việc nhiệt độ trên wafer không đồng đều. Hãy đảm bảo rằng hệ thống điều chỉnh nhiệt độ hoạt động tốt, và bạn sẽ có được kết quả tốt nhất.