Đảm bảo lượng nhiệt được truyền đến wafer một cách hiệu quả trong quy trình xử lý wafer
Trong các nhà máy sản xuất chip, việc lãng phí năng lượng không chỉ là vấn đề về chi phí – mà còn là dấu hiệu của sự thất bại. Khi bật đèn trong nhà máy, bạn muốn mọi watt năng lượng đều được truyền trực tiếp vào bề mặt wafer. Bạn không muốn năng lượng đó lãng phí trong không khí hoặc khiến trần nhà bị nóng lên.
Để đạt được điều này, chúng ta sử dụng sự kết hợp giữa kính thạch anh có độ tinh khiết cao và các tấm phản xạ được phủ bằng vàng.
Tại sao lại chọn vàng? Hầu hết các tấm phản xạ chỉ có tác dụng tán xạ năng lượng. Nhưng vàng lại rất hiệu quả trong việc phản xạ bức xạ hồng ngoại. Thay vì để nhiệt lượng lan tỏa ra ngoài, lớp vàng sẽ phản xạ các sóng hồng ngoại trở lại về hướng mục tiêu.
Điều này giúp biến dòng bức xạ rộng và lan tỏa thành một chùm tia tập trung. Điểm tốt nhất là bạn có thể tăng mật độ nhiệt mà không cần tăng điện áp, từ đó tránh gây áp lực lên hệ thống.
Vai trò của kính thạch anh Kính thạch anh được sử dụng để tạo thành lớp bảo vệ. Trong các hệ thống này, áp suất nhiệt rất lớn; hầu hết các vật liệu khác sẽ bị biến dạng hoặc vỡ ngay khi đèn đạt đến nhiệt độ cao nhất. Nhưng kính thạch anh thì không bị ảnh hưởng. Nó giúp bảo vệ sợi dây tóc trong đèn, đồng thời cho phép các sóng hồng ngoại đi qua mà không bị hấp thụ năng lượng.
Nhược điểm Tuy nhiên, thiết bị này rất hiệu quả, nhưng lại đòi hỏi việc bảo trì thường xuyên. Vàng rất kén chọn môi trường: nếu có bụi hoặc hơi hữu cơ trong không khí, lớp phủ vàng sẽ bị ô nhiễm nhanh chóng. Khi lớp phủ bị bẩn, khả năng phản xạ của nó sẽ giảm, và nhiệt độ của wafer cũng sẽ thay đổi. Để duy trì hiệu suất, bạn cần tuân thủ chặt chẽ lịch trình vệ sinh. Không thể có cách tắt điều này được.
Áp dụng vào thực tế Khi lắp đặt các thiết bị này vào hệ thống của bạn, hãy kiểm tra kỹ các quạt làm mát. Vì chúng ta truyền một lượng năng lượng lớn vào wafer, nên vỏ đèn sẽ giữ được nhiệt độ khá thấp, nhưng điểm tập trung nhiệt lại rất cao. Nếu lớp bảo vệ không được căn chỉnh chính xác, sẽ xuất hiện những điểm nóng trên bề mặt wafer.
Nếu bạn căn chỉnh chính xác, lượng năng lượng tiêu thụ trong mỗi chu kỳ sẽ giảm đáng kể. Đơn giản thôi.